[发明专利]利用吸收滤光器进行相衬成像的角度可变照明

权利要求书

1.一种系统(90)，包括：

-显微镜(100)，具有照明模块(111)、样本固持器(113)、检测器(114)一级布置在该样本固持器(113)与该检测器(114)之间的成像光学单元(112)，

-至少一个计算单元(115)，被配置为：控制该照明模块(111)，以便利用来自多个照明方向(700-703，381，382)的光照射该样本固持器(113)上的样本物体(390)，并且控制该检测器(114)，以便捕获各自对应于该多个照明方向(700-703，381，382)之一的图像，

-吸收滤光器(800)，布置在该成像光学单元(112)中并具有位置相关吸收率(810)。

2.如权利要求1所述的系统(90)，

其中，相对于该显微镜(100)的光轴(309)的距离越大，该吸收率(810)取的值就越大。

3.如权利要求1或2所述的系统(90)，

其中，该吸收率(810)具有渐变的或阶梯状的径向分布曲线。

4.如前述权利要求中任一项所述的系统(90)，

其中，该吸收滤光器(800)具有内部区域(801)，该内部区域具有第一吸收率(810)，

其中，该吸收滤光器(800)具有外部区域(802)，该外部区域围绕该内部区域并具有第二吸收率(810)，

其中，该第二吸收率(810)大于该第一吸收率(810)。

5.如权利要求4所述的系统(90)，

其中，该内部区域(801)的吸收率(810)不大于10％，和/或

其中，该外部区域(802)的吸收率(810)大于50％。

6.如权利要求4或5所述的系统(90)，

其中，该内部区域(801)的直径在出射光瞳的直径(305)的80％到120％的范围内，其中，该出射光瞳与该照明模块(111)的照明孔径(301)相关联。

7.如权利要求4至6中任一项所述的系统(90)，

其中，该内部区域(801)和该外部区域(802)的直径均小于与该成像光学单元(112)的检测器孔径(319)相关联的入射光瞳的直径(315)。

8.如前述权利要求中任一项所述的系统(90)，

其中，该照明模块(111)的照明数值孔径(301)小于该成像光学单元(112)的检测器数值孔径(319)。

9.如前述权利要求中任一项所述的系统(90)，

其中，该吸收滤光器(800)布置在该成像光学单元(112)的光瞳面中。

10.如前述权利要求中任一项所述的系统(90)，

其中，该至少一个计算单元(115)还被配置为将这些图像彼此组合以获得结果图像，其中，该结果图像具有相衬。

11.一种方法，包括：

-控制显微镜(100)的照明模块(111)，以便用来自多个照明方向(700-703，381，382)的光照射该显微镜(100)的样本固持器(113)上的样品物体(390)，

-控制该显微镜(100)的检测器(114)，以便捕获各自对应于该多个照明方向(700-703，381，382)之一的图像，

其中，具有位置相关吸收率(810)的吸收滤光器(800)布置在该显微镜的成像光学单元(112)中。

12.如权利要求11所述的方法，其中，该方法由如权利要求1至10中任一项所述的系统(90)的计算单元(115)来执行。