[发明专利]固体拍摄元件用滤光片以及固体拍摄元件有效
| 申请号: | 202080007115.7 | 申请日: | 2020-01-27 |
| 公开(公告)号: | CN113439223B | 公开(公告)日: | 2023-06-09 |
| 发明(设计)人: | 岩田玲子;平井友梨;北泽一茂;前田忠俊 | 申请(专利权)人: | 凸版印刷株式会社 |
| 主分类号: | G02B3/00 | 分类号: | G02B3/00;G03B11/00;G02B1/11;G02B5/20;G02B5/22;H01L27/146 |
| 代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 何立波;张天舒 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 固体 拍摄 元件 滤光 以及 | ||
具有:光入射的入射面;红外滤光片,其相对于光电变换元件而位于入射面侧;以及阻隔层,其相对于红外滤光片而位于入射面侧,抑制使红外滤光片氧化的氧化源的透过。
技术领域
本发明涉及固体拍摄元件用滤光片、以及具有固体拍摄元件用滤光片的固体拍摄元件。
背景技术
CMOS图像传感器以及CCD图像传感器等固体拍摄元件具有将光的强度变换为电信号的光电变换元件。固体拍摄元件的第1例具有用于各种颜色的彩色滤光片及光电变换元件,通过用于各种颜色的光电变换元件对各种颜色的光进行检测(例如,参照专利文献1)。固体拍摄元件的第2例具有有机光电变换元件及无机光电变换元件,不利用彩色滤光片,而是通过各光电变换元件对各种颜色的光进行检测(例如参照专利文献2)。
不仅在可见光的频带,在包含近红外光在内的红外光的频带,光电变换元件也具有吸收带。固体拍摄元件的第3例在光电变换元件上具有红外截止滤光片,将各光电变换元件能够检测出的红外光相对于光电变换元件而截止,由此能够提高各光电变换元件对可见光的检测精度。红外截止滤光片的构成材料例如为蒽醌类化合物、酞菁类化合物、花青类化合物、亚胺类化合物、二亚铵类化合物(例如参照专利文献1、3、4)。
另外,固体拍摄元件的第4例在红外用的光电变换元件上具有红外带通滤光片,将红外用的光电变换元件能够检测出的可见光相对于红外用的光电变换元件而截止,由此能够提高红外用的光电变换元件对红外光的检测精度。红外带通滤光片的构成材料例如为双苯并呋喃酮类颜料、偶氮甲碱类颜料、苝类颜料、偶氮类染料等黑色材料(例如参照专利文献5、6)。
专利文献1:日本特开2003-060176号公报
专利文献2:日本特开2018-060910号公报
专利文献3:日本特开2017-181705号公报
专利文献4:日本特开2018-120097号公报
专利文献5:日本特开2016-177273号公报
专利文献6:日本特开2018-119077号公报
发明内容
另一方面,难以断言包含红外截止滤光片以及红外带通滤光片在内的红外滤光片的构成材料与光电变换元件等的构成材料相比具有较高的耐光性。另一方面,固体拍摄元件的应用范围随着图像处理的发展、传感的发展而扩大。随着扩大固体拍摄元件的应用范围的要求的高涨,更强烈地要求能够提高红外滤光片的耐光性、进而固体拍摄元件的耐光性的技术。
本发明的目的在于提供能够提高固体拍摄元件的耐光性的固体拍摄元件用滤光片以及固体拍摄元件。
用于解决上述问题的固体拍摄元件用滤光片具有:光入射的入射面;红外滤光片,其相对于光电变换元件而位于所述入射面侧,抑制红外光的透射;以及阻隔层,其相对于所述红外滤光片而位于所述入射面侧,抑制使所述红外滤光片氧化的氧化源的透过。
用于解决上述问题的固体拍摄元件用滤光片具有:光入射的入射面;以及红外滤光片,其相对于光电变换元件而位于所述入射面侧,抑制红外光的透射,相对于所述红外滤光片而位于所述入射面侧的层叠构造的氧气透过率小于或等于5.0cc/m2/day/atm。
根据上述各结构,抑制氧化源到达红外滤光片,因此红外滤光片不易由于氧化源而氧化。其结果,能够提高红外滤光片的耐光性、进而固体拍摄元件的耐光性。
在上述固体拍摄元件用滤光片中,所述红外滤光片可以是红外截止滤光片,所述红外截止滤光片可以是含有红外吸收剂的微透镜。根据该结构,具有朝向光电变换元件而导入光的功能的微透镜兼具红外光的截止功能,因此还能够实现固体拍摄元件用滤光片具有的层构造的简化。
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