[实用新型]一种环保的等离子光阻去除机有效

专利信息
申请号: 202023337416.2 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN214375831U 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 王浩明 申请(专利权)人: 苏州子山半导体科技有限公司
主分类号: G03F7/42 分类号: G03F7/42
代理公司: 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 代理人: 薛芳芳
地址: 215000 江苏省苏州市工业*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 环保 等离子 去除
【说明书】:

实用新型公开了一种环保的等离子光阻去除机,包括箱体,所述箱体外部贯穿连接设有排气口,所述箱体外部下端活动安装设有收纳箱,所述箱体外部右侧下端活动安装设有折叠面板,当本装置使用时,首先通过把手跟合页的配合将折叠面板打开,将需加工物品放至箱体内部,随后闭合关上折叠面板,操控箱体上端的编辑面板,箱体开始运行,箱体运行时通过箱体内部产生的等离子对其放置架上端的被加工物品进行加工处理,由于等离子加工时须在一个密封且真空的状态下进行运作,为此箱体内部设置了一个真空箱,当物品进行加工时,由真空箱左侧的抽气泵将其真空箱内部的气体抽空,随后物品开始进行等离子加工处理工作。

技术领域

本实用新型涉及光阻去除机构相关技术领域,具体为一种环保的等离子光阻去除机。

背景技术

等离子光阻去除机也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果,等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态,对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态,等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等,等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。

然而现有的光阻去除机,在对机器内部的气体进行过滤时,过滤的不够精细,导致半过滤的气体传出箱体内部,造成身体危害,并且过滤气体的过滤装置不便于清洁处理,导致过滤的效果较差,同时,现有的去除机内部不具备抽气泵的固定机构,使其抽气泵的稳定性不强,不利于实际使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种环保的等离子光阻去除机,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种环保的等离子光阻去除机,包括箱体,所述箱体外部贯穿连接设有排气口,所述箱体外部下端活动安装设有收纳箱,所述箱体外部右侧下端活动安装设有折叠面板,所述折叠面板外部活动安装设有合页,所述折叠面板外部上端固定连接设有把手,所述箱体外部右侧上端固定安装设有透视窗口,所述箱体上端固定连接设有编辑面板,所述箱体内部上端活动安装设有过滤机构,所述过滤机构下端贯穿连接设有导管,所述导管一侧贯穿连接设有真空箱,所述真空箱内部固定安装设有放置架。

优选的,所述过滤机构内部活动安装设有直径小于过滤机构直径的第一过滤网,所述第一过滤网下端活动安装设有呈等距纵向排列的第二过滤网。

优选的,所述第二过滤网下端活动安装设有呈平行对称的第三过滤网,所述第三过滤网外部固定连接设有形状结构呈凹字形的移动轨道。

优选的,所述收纳箱内部固定连接设有形状结构呈长方形的固定板,所述固定板上端活动安装设有呈平行对称的移动板。

优选的,所述移动板一侧固定连接设有固定槽,所述固定槽右侧通过贯穿移动板的表面固定安装于移动板的内部。

优选的,所述过滤机构下端设有呈平行对称的导管,所述导管均贯穿固定于固定块中。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:当本装置使用时,首先通过把手跟合页的配合将折叠面板打开,将需加工物品放至箱体内部,随后闭合关上折叠面板,操控箱体上端的编辑面板,箱体开始运行,箱体运行时通过箱体内部产生的等离子对其放置架上端的被加工物品进行加工处理,由于等离子加工时须在一个密封且真空的状态下进行运作,为此箱体内部设置了一个真空箱,当物品进行加工时,由真空箱左侧的抽气泵将其真空箱内部的气体抽空,随后物品开始进行等离子加工处理工作,由于本装置在加工时,会产生有害气体,如不将有害气体进行过滤会导致排出的气体对人体造成危害,进而箱体内部设置了三层过滤网,过滤网能将气体进行多层过滤,完成过滤后的气体再通过箱体外部的排气口排出,完成整个等离子光阻去除工作。

附图说明

图1为本实用新型一种环保的等离子光阻去除机的整体结构示意图;

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