[实用新型]一种环保的等离子光阻去除机有效
| 申请号: | 202023337416.2 | 申请日: | 2020-12-31 |
| 公开(公告)号: | CN214375831U | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
| 发明(设计)人: | 王浩明 | 申请(专利权)人: | 苏州子山半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
| 代理公司: | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人: | 薛芳芳 |
| 地址: | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 环保 等离子 去除 | ||
1.一种环保的等离子光阻去除机,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)外部贯穿连接设有排气口(2),所述箱体(1)外部下端活动安装设有收纳箱(3),所述箱体(1)外部右侧下端活动安装设有折叠面板(4),所述折叠面板(4)外部活动安装设有合页(5),所述折叠面板(4)外部上端固定连接设有把手(6),所述箱体(1)外部右侧上端固定安装设有透视窗口(7),所述箱体(1)上端固定连接设有编辑面板(8),所述箱体(1)内部上端活动安装设有过滤机构(101),所述过滤机构(101)下端贯穿连接设有导管(102),所述导管(102)一侧贯穿连接设有真空箱(103),所述真空箱(103)内部固定安装设有放置架(104)。
2.根据权利要求1所述的一种环保的等离子光阻去除机,其特征在于:所述过滤机构(101)内部活动安装设有直径小于过滤机构(101)直径的第一过滤网(1011),所述第一过滤网(1011)下端活动安装设有呈等距纵向排列的第二过滤网(1012)。
3.根据权利要求2所述的一种环保的等离子光阻去除机,其特征在于:所述第二过滤网(1012)下端活动安装设有呈平行对称的第三过滤网(1013),所述第三过滤网(1013)外部固定连接设有形状结构呈凹字形的移动轨道(1014)。
4.根据权利要求1所述的一种环保的等离子光阻去除机,其特征在于:所述收纳箱(3)内部固定连接设有形状结构呈长方形的固定板(301),所述固定板(301)上端活动安装设有呈平行对称的移动板(302)。
5.根据权利要求4所述的一种环保的等离子光阻去除机,其特征在于:所述移动板(302)一侧固定连接设有固定槽(303),所述固定槽(303)右侧通过贯穿移动板(302)的表面固定安装于移动板(302)的内部。
6.根据权利要求1所述的一种环保的等离子光阻去除机,其特征在于:所述过滤机构(101)下端设有呈平行对称的导管(102),所述导管(102)均贯穿固定于固定块中。
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