[实用新型]高精度电容传感器结构

权利要求书

1.一种高精度电容传感器结构，包括结构一致且水平对称布置的下波纹膜座(2)和上波纹膜座(3)，二者之间封装有测量膜片(6)，所述下波纹膜座(2)的上端面开有下弧形凹槽(2a)，上波纹膜座(3)的下端面开有上弧形凹槽(3a)，所述上弧形凹槽(3a)和下弧形凹槽(2a)的槽口相对，所述上弧形凹槽(3a)和下弧形凹槽(2a)的槽面上设置有一层隔离涂层(8)，其特征在于：所述下弧形凹槽(2a)边沿与下波纹膜座(2)侧壁的距离≥2mm；

所述上弧形凹槽(3a)边沿与上波纹膜座(3)侧壁的距离≥2mm；

所述测量膜片(6)的外轮廓与下波纹膜座(2)上端面、上波纹膜座(3)下端面完全重合。

2.根据权利要求1所述的高精度电容传感器结构，其特征在于：所述下波纹膜座(2)为阶梯型圆柱体，其下部直径大于中部直径，其中部直径大于颈部直径，其上部直径大于颈部直径；

所述上波纹膜座(3)为阶梯型圆柱体，其上部直径大于中部直径，其中部直径大于颈部直径，其下部直径大于颈部直径。

3.根据权利要求1所述的高精度电容传感器结构，其特征在于：所述下波纹膜座(2)内设置有油管(5)及油孔(7)组合，该油管(5)的进口段位于所述下波纹膜座(2)的侧壁，油管(5)的出口经所述下弧形凹槽(2a)的隔离涂层(8)与油孔(7)组合相通；

所述油孔(7)组合与下波纹膜座(2)的轴线平行，所述油孔(7)一端与所述下弧形凹槽(2a)的隔离涂层(8)相通，另一端与所述下波纹膜座(2)下端面的下储油槽(2b)相通。

4.根据权利要求3所述的高精度电容传感器结构，其特征在于：所述下储油槽(2b)经下隔离膜片(1)封闭，该下隔离膜片(1)设置有N个同心的凸起圆环，所有圆环中心处的膜片凸起，该膜片凸起正对所述下波纹膜座(2)的下储油槽(2b)，下波纹膜座(2)的下端面设置有N个同心的凹槽环，所述凹槽环与凸起圆环配合安装。

5.根据权利要求1所述的高精度电容传感器结构，其特征在于：所述下波纹膜座(2)和下隔离膜片(1)为激光焊接；所述上波纹膜座(3)和上隔离膜片(4)为激光焊接；

所述测量膜片(6)的外轮廓与下波纹膜座(2)上端面、上波纹膜座(3)下端面为激光焊接。

6.根据权利要求3所述的高精度电容传感器结构，其特征在于：所述油管(5)为金属导线材质，其注油口经焊疤封堵。

7.根据权利要求1所述的高精度电容传感器结构，其特征在于：所述上弧形凹槽(3a)和下弧形凹槽(2a)为金属玻璃材质。