[实用新型]PICP干刻下电氦漏检测设备

说明书

本实用新型提供一种应用于PICP干刻技术领域的PICP干刻下电氦漏检测设备，所述的PICP干刻下电氦漏检测设备的设备框架(1)上设置检测板定版(3)，起吊部件(2)的起吊部件上组件(6)包括带通孔的上吊具(8)，起吊部件下组件(7)包括设置在设备框架(1)上的固定座(9)，固定座(9)上设置杆件(10)，检测板定版(2)下部安装氦检抽气部件(30)，氦检抽气部件(30)与PICP下电(20)连通，氦检仪与检测板定版(3)连通，本实用新型的PICP干刻下电氦漏检测设备，能够方便快捷实现PICP下电的氦漏检测，有效完成PICP下电产品是否存在泄漏的判断，避免无法使用产品出厂情况出现。

技术领域

本实用新型属于PICP干刻技术领域，更具体地说，是涉及一种PICP干刻下电氦漏检测设备。

背景技术

PICP(英文全称：Planar Inductively Coupled Plasma，中文全称：平面感应耦合等离子体)下电生产中，根据客户端使用要求，PICP下电在来料时和做完工艺处理后需要进行氦检，判断产品是否存在泄漏，避免造成无法使用的情况。现有氦漏检测没有定位，基板和下电极组装时可能会错位，从而影响产品质量和检测工作效率。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种结构简单，能够方便快捷实现PICP下电的氦漏检测，从而有效完成产品是否存在泄漏的判断，避免无法使用产品出厂情况出现的PICP干刻下电氦漏检测设备。

要解决以上所述的技术问题，本实用新型采取的技术方案为：

本实用新型为一种PICP干刻下电氦漏检测设备，所述的PICP干刻下电氦漏检测设备包括设备框架、起吊部件、氦检仪，设备框架上设置检测板定版，检测板定版上表面边沿设置凸起边，凸起边内圈设置密封圈，起吊部件包括起吊部件上组件和起吊部件下组件，起吊部件上组件包括带通孔的上吊具，起吊部件下组件包括设置在设备框架上的固定座，固定座上设置杆件，检测板定版下部安装氦检抽气部件，氦检抽气部件与PICP下电连通，氦检仪与检测板定版连通，下部安装PICP下电设置为能够安装在检测板定版上表面位置的结构。

所述的氦检抽气部件包括高真空阀安装板、变径管、真空六通管、多个高真空阀、波纹管。

所述的PICP干刻下电氦漏检测设备的氦检抽气部件还包括卡扣、卡箍、波纹管法兰头和法兰盲盘。

所述的PICP干刻下电氦漏检测设备的氦检抽气部件的高真空阀安装板安装在设备框架上，卡箍安装在高真空阀安装板上，卡箍用于固定真空六通管，卡扣连接真空六通管和高真空阀，波纹管一端连接波纹管法兰头，波纹管另一端连接高真空阀。

所述的波纹管法兰头设置为能够与PICP下电连通的结构，变径管通过卡扣与真空六通管连接在一起，变径管连接分子泵，分子泵作业时，真空六通管另一端设置为能够与法兰盲盘连接实现结构密封的结构。

所述的起吊部件的起吊部件上组件的上吊具包括多个，多个上吊具沿PICP 下电侧面一周按间隙布置，起吊部件下组件设置为与起吊部件上组件数量和位置一一对应的结构，起吊部件下组件的杆件垂直布置。

所述的下部安装PICP下电安装在检测板定版上表面位置时，PICP下电通过螺丝与检测板定版固定连接，检测板定版下表面的密封板上的螺栓与密封圈连接，实现密封圈的固定并保证密封圈密封的结构，氦检仪设置为能够对PICP下电通过氦检抽气部件进行氦检的结构。

所述的PICP干刻下电氦漏检测设备的检测板定版下部设置开槽口，冷却器塞板位于开槽口内，冷却器塞板同时通过螺栓与PICP下电固定连接。

所述的设备框架1包括铝型材本体、角件，铝型材本体和角件固定连接形成设备框架。

所述的POM垫块固定在铝型材本体上支撑检测板定版，直角支架固定在铝型材本体上定位检测板定版。