[实用新型]基于载板回流线的载板清洁装置及载板回流线

权利要求书

1.一种基于载板回流线的载板清洁装置，其特征在于，包括：第一抽真空吸嘴、第一滚刷和第一压缩气体喷嘴；

所述第一抽真空吸嘴、所述第一滚刷和所述第一压缩气体喷嘴，沿载板运动方向依次设置在所述载板回流线的上方；

所述第一滚刷的刷毛能与所述载板回流线上的载板接触，所述第一滚刷的转动方向与所述载板回流线的传动方向相反；

所述第一压缩气体喷嘴和所述第一抽真空吸嘴均朝向所述第一滚刷与所述载板回流线上的载板接触的位置。

2.如权利要求1所述的基于载板回流线的载板清洁装置，其特征在于，还包括：

第二滚刷，所述第二滚刷设在所述载板回流线的上方，在所述载板回流线的传动方向上，所述载板回流线上的载板依次经过所述第一滚刷、所述第二滚刷，所述第二滚刷的转动方向与所述第一滚刷一致，所述第二滚刷的刷毛与所述载板回流线上的载板接触；

第二抽真空吸嘴，所述第二抽真空吸嘴朝向所述第二滚刷与所述载板回流线上的载板接触的位置，且在所述载板回流线的传动方向上，所述载板回流线上的载板依次经过所述第二抽真空吸嘴、所述第二滚刷，所述第二抽真空吸嘴用于抽气。

3.如权利要求2所述的基于载板回流线的载板清洁装置，其特征在于，所述基于载板回流线的载板清洁装置还包括第三滚刷，所述第三滚刷位于所述载板回流线的下方，所述第三滚刷的刷毛与所述载板的下表面接触，所述第三滚刷的转动方向与所述载板回流线的传动方向相反。

4.如权利要求3所述的基于载板回流线的载板清洁装置，其特征在于，还包括壳体，所述壳体内部具有安装腔，所述壳体在所述载板回流线的传动方向具有进口和出口，以使所述载板回流线通过所述进口和所述出口穿过所述壳体，所述第一滚刷、所述第二滚刷、所述第三滚刷、所述第一压缩空气喷嘴、所述第一抽真空吸嘴以及所述第二抽真空吸嘴均设于所述安装腔内，所述安装腔的底部设有沉积盒，所述第一抽真空吸嘴以及所述第二抽真空吸嘴均连通所述沉积盒。

5.如权利要求2所述的基于载板回流线的载板清洁装置，其特征在于，在所述载板的宽度方向上，所述第一抽真空吸嘴和所述第二抽真空吸嘴的宽度均完全覆盖所述载板。

6.如权利要求3所述的基于载板回流线的载板清洁装置，其特征在于，所述第一滚刷刷毛的长度比所述第一滚刷轴径到所述载板的距离至少大2mm，所述第二滚刷刷毛的长度比所述第二滚刷轴径到所述载板的距离至少大2mm，所述第三滚刷刷毛的长度比所述第三滚刷轴径到所述载板的距离至少大2mm。

7.如权利要求1所述的基于载板回流线的载板清洁装置，其特征在于，所述第一压缩空气喷嘴的朝向延伸线与所述载板成20°至40°夹角，所述第一压缩空气喷嘴与所述载板的距离在2mm至10mm之间。

8.如权利要求1所述的基于载板回流线的载板清洁装置，其特征在于，所述第一抽真空吸嘴的横截面与所述载板成5°至10°夹角，所述第一抽真空吸嘴与所述载板的最小距离在2mm至10mm之间，所述第一抽真空吸嘴与所述第一滚刷的最小距离在2mm至10m之间。

9.如权利要求3所述的基于载板回流线的载板清洁装置，其特征在于，所述第一滚刷、所述第二滚刷和所述第三滚刷的刷毛表面均涂敷有防静电漆。

10.一种载板回流线，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的基于载板回流线的载板清洁装置。