[实用新型]自动化玻璃基板清洗装置有效
| 申请号: | 202023000375.8 | 申请日: | 2020-12-15 |
| 公开(公告)号: | CN214053020U | 公开(公告)日: | 2021-08-27 |
| 发明(设计)人: | 史延锋;史延库 | 申请(专利权)人: | 苏州盟萤电子科技有限公司 |
| 主分类号: | B08B11/04 | 分类号: | B08B11/04;B08B3/02;B08B3/14;C02F1/32;C02F1/72;C02F101/30 |
| 代理公司: | 北京哌智科创知识产权代理事务所(普通合伙) 11745 | 代理人: | 包加健 |
| 地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 自动化 玻璃 清洗 装置 | ||
本实用新型提供了一种自动化玻璃基板清洗装置,用于对玻璃基板进行清洗,其包括清洗机构、对玻璃基板进行传输的滚筒线、对清洗用液体进行收集的储液槽、杀菌分解机构及过滤器,所述杀菌分解机构包括具有液体入口及出口的壳体、设置壳体内的紫外灯、设于紫外灯外侧的石英管及与所述紫外灯并排设置的光触媒体,所述光触媒体包括载体及涂覆于所述载体上的光触媒涂层。本实用新型通过设置同时具有紫外灯及光触媒体的杀菌分解机构,在对清洗用液体进行杀菌的同时还可进行有机物的分解作用,使得自动化玻璃基板清洗装置的清洗效果好,且杀菌分解机构结构简单,使用方便。
技术领域
本实用新型涉及清洗机领域,尤其涉及一种自动化玻璃基板清洗装置。
背景技术
显示面板的制程中,一般需要对玻璃基板进行清洗,实际生产中发现清洗工段的储液槽及管道内会产生微生物,使得清洗后的玻璃基板上有微生物残留,而在蒸镀过程中,微生物所在处有可能发生蒸镀层崩溃,从而导致产品不良。现有的紫外灯杀菌设计为了解决紫外线穿透力不足的缺陷,一般将紫外杀菌装置的壳体设置的较小,使得处理水量、滞留时间也跟着变小。另外,现有的设计多以杀菌为目标,忽略除了菌体污染外,在循环清洁时会洗下许多有机酸碱的问题,有机酸碱的残留同样会对清洗效果及产品的良率造成不良的影响。
因此,有必要设计一种自动化玻璃基板清洗装置,以解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种集杀菌和分解有机物为一体的自动化玻璃基板清洗装置。
为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:一种自动化玻璃基板清洗装置,用于对玻璃基板进行清洗,其包括清洗机构、对玻璃基板进行传输的滚筒线、对清洗用液体进行收集的储液槽、杀菌分解机构及过滤器,所述杀菌分解机构包括具有液体入口及出口的壳体、设置壳体内的紫外灯、设于紫外灯外侧的石英管及与所述紫外灯并排设置的光触媒体,所述光触媒体包括载体及涂覆于所述载体上的光触媒涂层。
作为本实用新型进一步改进的技术方案,所述载体的形状为圆柱状、管状、网状或薄片状。
作为本实用新型进一步改进的技术方案,所述光触媒体为多个,且沿壳体内液体的流动方向延伸。
作为本实用新型进一步改进的技术方案,所述光触媒涂层为纳米级二氧化钛涂层,所述壳体为不锈钢壳体。
作为本实用新型进一步改进的技术方案,所述紫外灯的数量为两个,其产生的紫外线的波长分别为170-200nm或240-270nm。
作为本实用新型进一步改进的技术方案,所述紫外灯产生的紫外线的波长分别为185nm或254nm。
作为本实用新型进一步改进的技术方案,所述清洗装置包括依次设置的等离子清洗机构、第一喷淋机构、第二喷淋机构及风干机构,所述杀菌分解机构设于所述第一喷淋机构与第二喷淋机构之间。
作为本实用新型进一步改进的技术方案,所述紫外灯的功率为80W,所述壳体中的液体流速为50-125L/min。
作为本实用新型进一步改进的技术方案,所述壳体的两端设有开关,所述杀菌分解机构的两侧并联有一可开闭的管路。
作为本实用新型进一步改进的技术方案,所述过滤器的过滤直径为 0.2μm。
由以上技术方案可知,本实用新型通过设置同时具有紫外灯及光触媒体的杀菌分解机构,在对清洗用液体进行杀菌的同时还可进行有机物的分解作用,使得自动化玻璃基板清洗装置的清洗效果好,且杀菌分解机构结构简单,使用方便。
附图说明
图1为本实用新型的自动化玻璃基板清洗装置的示意图。
图2为图1中杀菌分解机构的结构图。
具体实施方式
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