[实用新型]自动化玻璃基板清洗装置

权利要求书

1.一种自动化玻璃基板清洗装置，用于对玻璃基板进行清洗，其特征在于：包括清洗机构、对玻璃基板进行传输的滚筒线、对清洗用液体进行收集的储液槽、杀菌分解机构及过滤器，所述杀菌分解机构包括具有液体入口及出口的壳体、设置壳体内的紫外灯、设于紫外灯外侧的石英管及与所述紫外灯并排设置的光触媒体，所述光触媒体包括载体及涂覆于所述载体上的光触媒涂层。

2.如权利要求1所述的自动化玻璃基板清洗装置，其特征在于：所述载体的形状为圆柱状、管状、网状或薄片状。

3.如权利要求1所述的自动化玻璃基板清洗装置，其特征在于：所述光触媒体为多个，且沿壳体内液体的流动方向延伸。

4.如权利要求1所述的自动化玻璃基板清洗装置，其特征在于：所述光触媒涂层为纳米级二氧化钛涂层，所述壳体为不锈钢壳体。

5.如权利要求1所述的自动化玻璃基板清洗装置，其特征在于：所述紫外灯的数量为两个，其产生的紫外线的波长分别为170-200nm或240-270nm。

6.如权利要求5所述的自动化玻璃基板清洗装置，其特征在于：所述紫外灯产生的紫外线的波长分别为185nm或254nm。

7.如权利要求1所述的自动化玻璃基板清洗装置，其特征在于：所述清洗装置包括依次设置的等离子清洗机构、第一喷淋机构、第二喷淋机构及风干机构，所述杀菌分解机构设于所述第一喷淋机构与第二喷淋机构之间。

8.如权利要求2所述的自动化玻璃基板清洗装置，其特征在于：所述紫外灯的功率为80W，所述壳体中的液体流速为50-125L/min。

9.如权利要求1所述的自动化玻璃基板清洗装置，其特征在于：所述壳体的两端设有开关，所述杀菌分解机构的两侧并联有一可开闭的管路。

10.如权利要求1所述的自动化玻璃基板清洗装置，其特征在于：所述过滤器的过滤直径为0.2μm。