[实用新型]一种环压载网样品的扫描电镜样品台

说明书

本实用新型属于扫描电镜用样品台技术领域，具体是一种环压载网样品的扫描电镜样品台，包括主台、压板、U型夹、U型卡管、紧固螺钉Ⅰ和紧固螺钉Ⅱ，主台与U型夹通过紧固螺钉Ⅱ连接在一起，主台与U型卡管通过紧固螺钉Ⅰ连接在一起。U型卡管固定压板的旋转轴并通过U型夹的弹性作用，从而使压板上的压环能够压紧载网样品。本实用新型采用压环对载网样品进行环压，保证了载网样品在圆周上受力均匀，防止了载网样品发生一边翘起的情况的发生，增强了载网样品固定的稳定性和导电性，易于装卸样品，实现了载网样品的无损和无污染循环测试使用，提高了科研效率，是扫描电镜用样品台方面的创新。

技术领域

本实用新型属于扫描电镜用样品台技术领域，特别涉及一种环压载网样品的扫描电镜样品台。

背景技术

扫描电子显微镜(扫描电镜)是一种大型分析仪器,它广泛应用于各种固态物质的表面形貌和微区成分析。扫描电镜的工作原理是：电子枪发射高能电子束，高能电子束聚焦后轰击样品表面，由于高能电子束和样品的相互作用，会产生二次电子、背散射电子和俄歇电子等电子信号，然后利用各种探测器对相应的信号进行收集处理，从而实现对样品的表征。依据扫描电镜的工作原理及结构特点，扫描电镜通常要求观测的样品无水、无磁性、无放射性以及样品对电子束轰击不敏感。样品要能够牢固地固定在样品台上，如底部平整的块状样品可直接用导电胶固定在样品台上，细小的粉末样品要在溶剂中超声分散后滴在硅片或载玻片上干燥后用导电胶固定、尺寸较大的粉末样品可直接涂覆在导电胶上进行观察。对于导电性能不好的样品，通常在测试前需要通过离子溅射的方法在其表面溅射上一定厚度的贵金属膜层，以增强样品表面的导电性。由于扫描电镜具有制样简单、景深大、成像立体效果好、放大倍数可调范围宽等特点，现已经被广泛应用于材料、化学、电子、物理、生物、建筑和考古等诸多领域的微观研究。

样品台是扫描电镜的关键部件之一，用来承载各种形状的样品，使样品能牢固地固定在样品台上，并在扫描电镜其它系统的配合下成像以表征样品。

在科学研究和生产生活中使用扫描电镜时，普遍遇到了下述问题：

1）样品在扫描电镜测试后不能再用于其他测试（如透射电镜测试），需要将样品固定在载网（常用规格为直径3.05-3.20mm、厚度0.018-0.025mm）上，载网在扫描电镜下观察时一般采用的方法是：在样品台表面粘贴导电胶带或导电胶水固定载网，这在扫描电镜观测后取下载网的过程中会造成载网的破损，不能将此样品再进行其他测试；

2）导电胶电导率偏低，且扫描电镜观测后，导电胶常常会在载网上残留，造成样品污染。目前大多数导电胶的体积电阻率偏低，扫描电镜测试时使用导电胶固定载网，将此载网进行透射电镜测试时，载网上往往会残留导电胶，造成样品污染，从而无法拍摄出高质量的图片，也难以保证样品的一致性，测试结果不可靠；

3）载网样品容易移动。扫描电镜测试时如果载网不使用导电胶固定，载网在测试过程中相对样品台极易会发生移动，从而使拍照的图像出现模糊现象。同时，不固定的载网在测试中也容易发生脱落，进而造成仪器的损坏；

4）载网样品翘起或变形。采用普通压片固定的载网样品由于在圆周上受力不均匀，测试期间其发生一边翘起或变形的概率大大增加，这不仅会影响测试的结果，还会增加样品脱落的危险。

上述问题已严重妨碍了扫描电镜在更广阔范围内的使用，迫切需要本领域技术人员予以解决。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种环压载网样品的扫描电镜样品台，解决如下技术问题：①如何使载网样品在扫描电镜测试后能继续应用于其他测试；②如何避免导电胶的污染，提高测试过程中载网样品与样品台之间的电导率；③如何在不使用导电胶的情况下固定载网样品；④如何使载网样品在圆周上受力均匀，令其在扫描电镜测试过程中更好的保持水平放置的状态。

本实用新型采用如下技术方案：一种环压载网样品的扫描电镜样品台，包括主台、压板、U型夹、U型卡管、紧固螺钉Ⅰ和紧固螺钉Ⅱ。