[实用新型]温度可调的高压气体制备装置

权利要求书

1.一种温度可调的高压气体制备装置，其特征在于，该装置包括：

连接至外接气源(100)的气体存储器(300)；

设置在所述外接气源(100)和所述气体存储器(300)之间的气体增压泵(200)；

连通所述气体存储器(300)和工件(600)的第一支路(1001)；

设置在所述第一支路(1001)上的温度调节支路，所述温度调节支路包括并联方式设置的第二支路(1004)和第三支路(1005)，所述第二支路(1004)上设置有加热装置，所述第三支路(1005)上设置有低温冷却器(500)；

向所述低温冷却器(500)提供液氮的液氮存储器(400)，所述液氮存储器(400)一端通过第四支路(1006)与所述气体存储器(300)连通，所述液氮存储器(400)另一端通过第五支路(1007)与所述低温冷却器(500)连通。

2.根据权利要求1所述的温度可调的高压气体制备装置，其特征在于，该装置还包括：

第一电动阀(301)，其设置在所述外接气源(100)和所述气体增压泵(200)之间；

设置在所述气体增压泵(200)与所述气体存储器(300)之间的止回阀(101)；

第四压力检测件(804)；所述第一支路(1001)包括位于所述温度调节支路前端的第一子支路(1002)和位于所述温度调节支路后端的第二子支路(1003)；所述第四压力检测件(804)用于检测所述第一子支路(1002)上的第一气体压力值。

3.根据权利要求2所述的温度可调的高压气体制备装置，其特征在于，该装置还包括：

第一手动阀(601)，设置在所述外接气源(100)和所述气体增压泵(200)之间；

第二手动阀(602)，设置在所述止回阀(101)和所述气体存储器(300) 之间；

第三手动阀(603)；

第四手动阀(604)；

其中，所述液氮存储器(400)包括存储气体的气体部分和存储液体的液体部分，所述第三手动阀(603)设置在所述液氮存储器(400)液体部分中下部；所述第四手动阀(604)与所述液氮存储器(400)液体部分底部连接。

4.根据权利要求3所述的温度可调的高压气体制备装置，其特征在于，该装置还包括：

第一减压阀(501)，设置在所述气体存储器(300)和所述液氮存储器(400)之间；

第二减压阀(502)，设置在第一子支路(1002)上；

第一过滤器(201)，设置在所述第二手动阀(602)和所述气体存储器(300)之间；

第二过滤器(202)，设置在所述第三手动阀(603)和所述液氮存储器(400)之间；

第一安全阀(901)，设置在所述第一过滤器(201)和所述气体存储器(300)之间；

第二安全阀(902)，设置在液氮存储器(400)第一部分上。

5.根据权利要求4所述的温度可调的高压气体制备装置，其特征在于，该装置还包括温度控制组件，所述温度控制组件包括：

设置在所述第二子支路(1003)上的温度检测单元(810)，其用于检测流向所述工件(600)的气体的实时气体温度；

设置在所述第五支路(1007)上的第一电动调节阀(401)，所述第一电动调节阀(401)用于调节由所述液氮存储器(400)流向所述低温冷却器(500)的液氮的流量；

其中，所述加热装置为比例式加热器。

6.根据权利要求5所述的温度可调的高压气体制备装置，其特征在于，该装置还包括流量控制组件，所述流量控制组件包括：

设置在所述第二子支路(1003)上的流量检测单元(809)，其用于检测流向所述工件(600)的气体的实时气体流量；

设置在所述第二支路(1004)上的第二电动调节阀(402)，所述第二电动调节阀(402)用于调节由所述气体存储器(300)流向所述加热装置的加热气体的加热气体流量；

设置在所述第三支路(1005)上的第三电动调节阀(403)，所述第三电动调节阀(403)用于调节由所述气体存储器(300)流向所述低温冷却器(500)的冷却气体的冷却气体流量。