[实用新型]一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置

说明书

一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，包括基台，所述基台设有真空吸盘、气管和气泵，所述真空吸盘内设有气槽，所述真空吸盘上设有连通气槽的微孔陶瓷部，所述微孔陶瓷部上表面与真空吸盘上表面平齐，所述气管两端分别连接气槽和气泵。本实用新型具有如下有益效果：（1）通过设置微孔陶瓷部和气槽对产品均匀吸附固定，保证产品的平稳固定及平面度；（2）微孔陶瓷部包括多个饼和环，扩大适用产品范围；（3）结构简单、方便实用；（4）产品制作过程操作简单，便捷高效。

技术领域

本实用新型涉及陶瓷加工领域，尤其涉及一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置。

背景技术

氧化铝陶瓷具有高强度、高耐磨、高绝缘、耐腐蚀的性能特点，广泛应用于半导体、LED、医疗、新能源及航空航天等领域。在氧化铝陶瓷的制造过程中，根据产品使用需求，需要对精密氧化铝陶瓷薄板平面度进行加工处理。对于规则平面类产品的平面度，选用平面磨床加工效率较快，而且精度较高，平磨常规的装夹是通过挡块约束、黏蜡加工等方法，用上述方法装夹，加工过程中产品与平台之间受力不均匀，容易导致产品变形，尤其是对直径较大、厚度较小的氧化铝薄板，其平面度难以达到要求。

例如一种在中国专利文献上公开的“一种用于精密陶瓷产品加工的装置”，其公开号CN207788646U，用于精密陶瓷产品的外径、外径段差和圆饼类中间凹部台级的磨削，装置包括机架、置于机架上的回转台、驱动回转台旋转的电机和设于回转台表面的治具，机架固置于平面磨床工作平台上，治具通过若干压板固置于回转台表面且与回转台同心，精密陶瓷产品固置于治具表面且与治具同心。其不足之处是，使用该装置磨削产品时，产品放置在治具中央并通过粘蜡粘结在治具表面，对于直径较大，厚度较小的氧化铝薄板，这种固定方式使得产品与治具之间受力不均，易导致产品变形，降低产品性能。

发明内容

本实用新型是为了克服现有技术在固定直径较大，厚度较小的待磨削的氧化铝薄板时容易导致产品变形问题，提供一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，氧化铝产品受力均匀，保证产品高平面度。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，包括基台，所述基台设有真空吸盘、气管和气泵，所述真空吸盘内设有气槽，所述真空吸盘上设有连通气槽的微孔陶瓷部，所述微孔陶瓷部上表面与真空吸盘上表面平齐，所述气管两端分别连接气槽和气泵。

本实用新型的特点在于设置了具有微孔陶瓷部的真空吸盘，将产品放置在真空吸盘上并覆盖微孔陶瓷部的上表面，如此在产品下方的微孔陶瓷部中的气孔和气槽中形成密闭的空腔，通过气泵以及气管从该空腔中抽真空将产品吸附在微孔陶瓷部上，由于微孔陶瓷部的微孔分布均匀，产品底部受力均匀，产品不易变形移位；微孔陶瓷部上表面与真空吸盘上表面平齐一方面保证产品放置后的密封性，确保吸附力，另一方面保证产品的平稳的放置，方便后续对产品进行平磨。

作为优选，所述真空吸盘包括分体设置的吸盘基座和微孔陶瓷部，所述吸盘基座上方嵌入微孔陶瓷部，所述吸盘基座与微孔陶瓷部粘接，所述吸盘基座和微孔陶瓷部之间形成气槽，所述吸盘基座和微孔陶瓷部的上表面平齐。

为了保证抽真空效果，作为基座的吸盘基座应由致密材料制成，因此吸盘基座和微孔陶瓷部二者材料不同，优选为分别加工后再进行粘接组合，微孔陶瓷部形状和尺寸可根据待加工的氧化铝陶瓷形状尺寸确定。

作为优选，所述微孔陶瓷部包括中间的微孔陶瓷饼和同心设置在微孔陶瓷饼外侧的微孔陶瓷环，所述微孔陶瓷饼和微孔陶瓷环间隔设置且均嵌入粘接在吸盘基座上，所述微孔陶瓷饼和微孔陶瓷环分别与吸盘基座之间形成独立的气槽，每个气槽均通过气管与气泵连接。