[实用新型]一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置有效
| 申请号： | 202022811138.3 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN214519254U | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 王轶军;姚相民;马玉琦;李奇;蔡德奇;周斌 | 申请（专利权）人： | 杭州大和江东新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/06;B24B41/02 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 郑汝珍 |
| 地址： | 311200 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 精密 陶瓷 薄板 平面 加工 装置 | ||
1.一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，包括基台（1），其特征是，所述基台（1）设有真空吸盘、气管（4）和气泵（5），所述真空吸盘内设有气槽，所述真空吸盘上设有连通气槽的微孔陶瓷部（3），所述微孔陶瓷部上表面与真空吸盘上表面平齐，所述气管（4）两端分别连接气槽和气泵（5）。
2.根据权利要求1所述的一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，其特征是，所述真空吸盘包括分体设置的吸盘基座（2）和微孔陶瓷部（3），所述吸盘基座（2）上方嵌入微孔陶瓷部（3），所述吸盘基座（2）与微孔陶瓷部（3）粘接，所述吸盘基座（2）和微孔陶瓷部（3）之间形成气槽，所述吸盘基座（2）和微孔陶瓷部（3）的上表面平齐。
3.根据权利要求2所述的一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，其特征是，所述微孔陶瓷部包括中间的微孔陶瓷饼（31）和同心设置在微孔陶瓷饼（31）外侧的微孔陶瓷环，所述微孔陶瓷饼（31）和微孔陶瓷环间隔设置且均嵌入粘接在吸盘基座（2）上，所述微孔陶瓷饼（31）和微孔陶瓷环分别与吸盘基座（2）之间形成独立的气槽，每个气槽均通过气管（4）与气泵（5）连接。
4.根据权利要求2所述的一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，其特征是，所述吸盘基座（2）上设有卡槽，所述卡槽槽底设有下凹的气槽，所述气槽宽度小于卡槽宽度，所述微孔陶瓷部（3）嵌入在卡槽内，所述微孔陶瓷部（3）底面与气槽合围形成连通气管（4）的腔体。
5.根据权利要求2或3或4所述的一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，其特征是，所述基台（1）为磁吸件，所述吸盘基座（2）为不锈钢构件。
6.根据权利要求1或2或3或4所述的一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，其特征是，所述气管（4）中设有吸气单向阀。
7.根据权利要求1或2或3或4所述的一种用于精密陶瓷薄板平面度加工的装置，其特征是，所述微孔陶瓷部（3）的孔径为50μm，气孔率为40%。
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