[实用新型]一种超纯净金属熔炼用气体纯化装置

权利要求书

1.一种超纯净金属熔炼用气体纯化装置，其特征在于，包括：至少两个脱氧反应器、脱二氧化碳反应器(1)和干燥装置(2)，至少两个脱氧反应器依次连接，位于后方的所述脱氧反应器的出气口与所述脱二氧化碳反应器(1)的进气口通过管道连通，所述脱二氧化碳反应器(1)的出气口与所述干燥装置(2)的进气口通过管道连通，所述脱氧反应器上均设有冷却机构，至少两个所述脱氧反应器上的所述冷却机构相互连通。

2.如权利要求1所述的一种超纯净金属熔炼用气体纯化装置，其特征在于，所述脱氧反应器设置为两个。

3.如权利要求2所述的一种超纯净金属熔炼用气体纯化装置，其特征在于，所述脱氧反应器包括第一管道(3)和管道加热带(4)，所述第一管道(3)内填充有催化剂，所述第一管道(3)的两端分别安装有进气管(5)和出气管(6)，所述管道加热带(4)绕设在所述第一管道(3)上。

4.如权利要求3所述的一种超纯净金属熔炼用气体纯化装置，其特征在于，所述冷却机构包括两个冷却单元，所述第一管道(3)的两端的所述进气管(5)和所述出气管(6)之间分别设有一个所述冷却单元。

5.如权利要求4所述的一种超纯净金属熔炼用气体纯化装置，其特征在于，所述冷却单元包括第二管道(7)和螺旋管(8)，所述螺旋管(8)套设在所述第二管道(7)上，所述冷却单元的两根所述第二管道(7)的一端与对应的所述第一管道(3)的两端分别连接，其另一端分别与对应的所述进气管(5)和所述出气管(6)连接。

6.如权利要求5所述的一种超纯净金属熔炼用气体纯化装置，其特征在于，所述第二管道(7)的一端与所述第一管道(3)之间通过法兰盘(9)连接。

7.如权利要求5所述的一种超纯净金属熔炼用气体纯化装置，其特征在于，位于前方的两根所述螺旋管(8)的一端连通，其另一端分别通过管道与位于后方的两根所述螺旋管(8)的一端连通，位于后方的两根所述螺旋管(8)的另一端分别作为冷却水进口和冷却水出口。