[实用新型]一种薄膜测厚仪

权利要求书

1.一种薄膜测厚仪，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的顶部分别通过螺栓固定有支架(2)和导柱，所述支架(2)的顶部依次通过六角螺钉连接有顶板(3)和支撑座(16)，所述顶板(3)的顶部通过螺栓固定安装有气缸(4)，所述气缸(4)的内部设置有活塞杆，活塞杆的端部通过螺丝连接有压杆(5)，且压杆(5)的底部通过螺钉固定有压板(6)，所述压板(6)的底部安装有第一激光感应器(7)，且压杆(5)的两侧均通过沉头螺栓固定有挡板(18)；

所述底座(1)的顶部滑动设置有对称布置的滑动座(10)，所述滑动座(10)上滑动设置有固定板(11)，且滑动座(10)的一侧焊接有连接板(14)，所述连接板(14)上活动铰接有连杆(15)，所述连杆(15)的另一端活动铰接有活动板(19)，所述活动板(19)套设在导柱的外部。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜测厚仪，其特征在于，所述活动板(19)的内部开设有滑孔，所述导柱嵌入在滑孔的内部。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜测厚仪，其特征在于，所述支撑座(16)上开设有凹槽，凹槽的顶壁上通过卡扣固定连接有弹簧(17)，所述弹簧(17)的另一端与所述活动板(19)的顶部固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜测厚仪，其特征在于，所述滑动座(10)的内部依次开设有相连通的螺孔和矩形槽，所述螺孔的内部螺纹连接有螺杆(12)，所述固定板(11)的顶部安装有轴承，所述螺杆(12)的端部套设在轴承的内部，且固定板(11)与矩形槽滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种薄膜测厚仪，其特征在于，所述挡板(18)的内部开设有通孔，所述导柱穿过通孔的内部。

6.根据权利要求1所述的一种薄膜测厚仪，其特征在于，所述底座(1)的顶部开设有对称布置的滑槽(13)，所述滑动座(10)与滑槽(13)滑动连接。

7.根据权利要求1所述的一种薄膜测厚仪，其特征在于，所述底座(1)的顶部通过螺丝固定有放置板(8)，所述放置板(8)上安装有第二激光感应器(9)。