[实用新型]一种具有密封效果的光刻机用铝合金连接件

说明书

本实用新型涉及一种具有密封效果的光刻机用铝合金连接件，包括垫板，所述垫板外部一侧设有盖板，所述垫板内部一侧开设有导向槽，所述导向槽内部嵌入连接有滑块，所述滑块内部贯穿连接有螺杆，所述螺杆一端固定连接有螺母，所述螺母一侧设有垫片，所述垫片一侧与所述垫板抵触，所述垫板内部一侧开设有安装槽，所述安装槽一侧固定连接有若干安装座一，所述安装座一内部嵌入连接有压力弹簧，所述压力弹簧另一端嵌入连接于所述安装座二内部，所述安装座一侧固定连接有顶板，本实用新型通过在垫板边缘一周设置可以伸缩的顶板，并且顶板上设有橡胶密封垫，橡胶密封垫可以配合盖板将连接区域进行密封，从而防止灰尘或水汽进入，提高连接区域的密封性。

技术领域

本实用新型涉及一种具有密封效果的光刻机用铝合金连接件，属于设备安装技术领域。

背景技术

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常七纳米至几微米之间，高端光刻机号称世界上最精密的仪器，世界上已有1.2亿美金一台的光刻机，高端光刻机堪称现代光学工业之花，其制造难度之大，全世界只有少数几家公司能够制造，国外品牌主要以荷兰ASML，日本Nikon和日本Canon三大品牌为主。

由于光刻机较为复杂，光刻机使用的铝合金连接件数量也十分众多，但是目前使用的铝合金连接件没有良好的密封性，使用螺杆固定时，若螺孔位置出现偏差，螺杆则很难拧紧在螺孔内，并且在设备组装时，有些需要进行密封的位置需要使用密封胶等手段进行密封，费时费力，因此，需要对以上缺陷进行改善。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有密封效果的光刻机用铝合金连接件，通过在垫板边缘一周设置可以伸缩的顶板，并且顶板上设有橡胶密封垫，橡胶密封垫可以配合盖板将连接区域进行密封，从而防止灰尘或水汽进入，提高连接区域的密封性，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种具有密封效果的光刻机用铝合金连接件,包括垫板，所述垫板外部一侧设有盖板，所述垫板内部一侧开设有导向槽，所述导向槽内部嵌入连接有滑块，所述滑块内部贯穿连接有螺杆，所述螺杆一端固定连接有螺母，所述螺母一侧设有垫片，所述垫片一侧与所述垫板抵触，所述垫板内部一侧开设有安装槽，所述安装槽一侧固定连接有若干安装座一，所述安装座一内部嵌入连接有压力弹簧，所述压力弹簧另一端嵌入连接于所述安装座二内部，所述安装座一侧固定连接有顶板，所述顶板一端延伸至所述垫板内部，所述垫板一端固定连接有橡胶密封垫。

进一步的，所述盖板内部一侧设有螺纹，所述垫板与所述盖板连接处设有螺纹槽，所述盖板与所述垫板通过螺纹连接。

进一步的，所述导向槽截面呈H形，所述滑块形状与所述导向槽内部形状相同，所述滑块在所述导向槽内部滑动连接。

进一步的，所述滑块内部开设有与所述螺杆螺纹相匹配的螺纹槽，所述滑块与所述螺杆通过螺纹连接。

进一步的，所述顶板外部一侧设有导向板，所述垫板内部开设有容纳所述导向板通过的滑槽，所述导向板在所述垫板内部滑动连接。

进一步的，所述安装槽及其内部组件围绕所述垫板边缘一周设置，所述橡胶密封垫与所述顶板通过粘结剂连接，所述顶板一侧开设有T形凹槽，所述橡胶密封垫嵌入连接于所述顶板内部。

本实用新型的有益效果是：