[实用新型]一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置

说明书

一种4H‑SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，包括底座，底座上端固接有支座和支架，传送轴前端连接有传动组件，传送辊上传动连接有传送履带，支撑板上设置有拉伸组件，升降板与固定板之间设置有弹簧，升降板上设置有清扫组件，连杆下端安装有喷胶头；通过传动组件带动托盘及基片间歇性往右输送，对基片输送方便，通过拉伸组件带动清扫刷接触基片，同时通过清扫组件使得清扫刷对基片进行清扫，避免了基片上沾染的各种灰尘异物而导致涂覆光刻胶后表面不平整均匀的情况，通过刮板将基片上的光刻胶刮涂均匀，提高了基片的涂覆效果，本装置同一时间在对多个基片进行加工，避免了现有需要人工一个个装卸进行涂覆，省时省力且极大提高了基片的光刻胶涂覆效率。

技术领域

本实用新型涉及光刻胶涂覆设备技术领域，具体为一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置。

背景技术

整流桥就是将整流管封在一个壳内，分全桥和半桥。全桥是将连接好的桥式整流电路的四个二极管封在一起。半桥是将四个二极管桥式整流的一半封在一起，用两个半桥可组成一个桥式整流电路，一个半桥也可以组成变压器带中心抽头的全波整流电路，选择整流桥要考虑整流电路和工作电压。整流桥作为一种功率元器件，非常广泛。应用于各种电源设备。4H是碳化硅的一种常用晶体类型，在对4H-SiC整流桥的生产加工过程中，晶圆基片在进行光刻之前需要进行光刻胶的涂覆，其涂覆质量的好坏直接影响到4H-SiC整流桥的的性能优劣。

目前对4H-SiC整流桥的涂覆时，一般是通过人工将基片放在托盘上涂覆完毕后，再关闭装置装卸下一个基片，这种方式要控制多个工位启停，工作强度大，而且光刻胶涂覆效率低，不适用于进行较大的工作量；还有现有的涂覆的基片在搬运装卸过程中，极易沾染各种灰尘异物，会造成待涂覆的基片在涂覆光刻胶后表面不平整均匀，而导致各种不良情况的发生，不能满足4H-SiC整流桥的涂覆质量要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，以解决上述背景技术中出现的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，包括底座，所述底座上端固接有支座和支架，所述支座上侧转动连接有传送轴，所述传送轴前端连接有传动组件，所述传送轴外壁固接有传送辊，所述传送辊上传动连接有传送履带，所述传送履带外壁均匀固接有若干个连接柱，所述连接柱另一端固接有托盘，所述支架左端固接有固定板、滑轨和支撑板，所述支撑板上设置有拉伸组件，所述滑轨左端滑动连接有滑块，所述滑块左端固接有升降板，所述升降板与固定板之间设置有弹簧，所述升降板上设置有清扫组件，所述升降板下端固接有连杆，所述连杆下端安装有喷胶头，所述喷胶头上端连通有喷胶软管，所述支架上开设有两个通槽。

优选的，一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，所述传动组件包括第一电机，所述第一电机设置于底座上端，所述第一电机输出端固接有第一带轮，所述传送轴前端固接有第二带轮，所述第二带轮与第一带轮之间传动连接有第一皮带。

优选的，一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，所述拉伸组件包括第二电机和安装座，所述第二电机和安装座设置于支撑板上端，所述安装座前后壁转动连接有转杆，所述转杆后端固接于第二电机输出端，所述转杆外壁设置有绕绳轮，所述绕绳轮上缠绕有牵引绳，所述牵引绳另一端固接于升降板下端。

优选的，一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，所述清扫组件包括第一转轴，所述第一转轴转动连接于升降板左侧，所述第一转轴中部固接有第一直齿轮，所述升降板下端设置有第三电机，所述第三电机输出端固接有第二直齿轮，所述第二直齿轮与第一直齿轮啮合传动，所述第一转轴下端安装有清扫刷。

优选的，一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置，所述升降板中部转动连接有第二转轴，所述第二转轴和第一转轴上端分别固接有第三带轮和第四带轮，所述三带轮和第四带轮之间传动连接有第二皮带，所述第二转轴下端安装有刮板。