[实用新型]一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置有效
| 申请号: | 202022673593.1 | 申请日: | 2020-11-18 |
| 公开(公告)号: | CN213276256U | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
| 发明(设计)人: | 蔡明挽 | 申请(专利权)人: | 广东深科电子有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
| 代理公司: | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人: | 苏映惜 |
| 地址: | 515400 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 sic 整流 工用 光刻 胶涂覆 装置 | ||
1.一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)上端固接有支座(2)和支架(3),所述支座(2)上侧转动连接有传送轴(4),所述传送轴(4)前端连接有传动组件(5),所述传送轴(4)外壁固接有传送辊(6),所述传送辊(6)上传动连接有传送履带(7),所述传送履带(7)外壁均匀固接有若干个连接柱(8),所述连接柱(8)另一端固接有托盘(9),所述支架(3)左端固接有固定板(10)、滑轨(11)和支撑板(12),所述支撑板(12)上设置有拉伸组件(13),所述滑轨(11)左端滑动连接有滑块(14),所述滑块(14)左端固接有升降板(15),所述升降板(15)与固定板(10)之间设置有弹簧(20),所述升降板(15)上设置有清扫组件(16),所述升降板(15)下端固接有连杆(17),所述连杆(17)下端安装有喷胶头(18),所述喷胶头(18)上端连通有喷胶软管(19),所述支架(3)上开设有两个通槽。
2.根据权利要求1所述的一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置,其特征在于:所述传动组件(5)包括第一电机(501),所述第一电机(501)设置于底座(1)上端,所述第一电机(501)输出端固接有第一带轮(502),所述传送轴(4)前端固接有第二带轮(503),所述第二带轮(503)与第一带轮(502)之间传动连接有第一皮带(504)。
3.根据权利要求1所述的一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置,其特征在于:所述拉伸组件(13)包括第二电机(1301)和安装座(1302),所述第二电机(1301)和安装座(1302)设置于支撑板(12)上端,所述安装座(1302)前后壁转动连接有转杆(1303),所述转杆(1303)后端固接于第二电机(1301)输出端,所述转杆(1303)外壁设置有绕绳轮(1304),所述绕绳轮(1304)上缠绕有牵引绳(1305),所述牵引绳(1305)另一端固接于升降板(15)下端。
4.根据权利要求1所述的一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置,其特征在于:所述清扫组件(16)包括第一转轴(1601),所述第一转轴(1601)转动连接于升降板(15)左侧,所述第一转轴(1601)中部固接有第一直齿轮(1602),所述升降板(15)下端设置有第三电机(1603),所述第三电机(1603)输出端固接有第二直齿轮(1604),所述第二直齿轮(1604)与第一直齿轮(1602)啮合传动,所述第一转轴(1601)下端安装有清扫刷(1605)。
5.根据权利要求4所述的一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置,其特征在于:所述升降板(15)中部转动连接有第二转轴(21),所述第二转轴(21)和第一转轴(1601)上端分别固接有第三带轮(22)和第四带轮(23),所述第三带轮(22)和第四带轮(23)之间传动连接有第二皮带(24),所述第二转轴(21)下端安装有刮板(25)。
6.根据权利要求1所述的一种4H-SiC整流桥加工用光刻胶涂覆装置,其特征在于:所述托盘(9)上端开设有放置槽(26)。
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