[实用新型]一种对极紫外光刻机表面去污的装置

权利要求书

1.一种对极紫外光刻机表面去污的装置，包括支架(1)、光刻机(7)，其特征在于，所述支架(1)上固定安装有电机一(2)、电机二(3)、滑杆(4)、气管(17)以及防尘网，所述支架(1)上转动安装有两个转杆(5)，且其中一个转杆(5)与电机二(3)驱动端之间通过卡合机构固定连接，两个所述转杆(5)上共同套设有一个传送带(6)，所述滑杆(4)上转动安装有两个摇杆(8)，两个所述摇杆(8)上均转动安装有一个转块(10)，且两个转块(10)上均固定安装有毛刷一(11)，两个所述摇杆(8)与支架(1)之间安装有固定机构，所述滑杆(4)上滑动安装有滑块(9)，所述滑块(9)与电机一(2)之间安装有转动机构，所述滑块(9)上固定安装有电推杆(12)，所述电推杆(12)上固定安装有毛刷二(13)，所述气管(17)上固定安装有多个喷头(18)。

2.根据权利要求1所述的一种对极紫外光刻机表面去污的装置，其特征在于，所述卡合机构包括套筒(22)以及套杆(23)，所述电机二(3)驱动端上固定安装有套筒(22)，靠近所述电机二(3)一侧的转杆(5)靠近电机二(3)的一端上固定安装有与套筒(22)相配合的套杆(23)。

3.根据权利要求1所述的一种对极紫外光刻机表面去污的装置，其特征在于，所述固定机构包括一个拉杆(20)、一个卡杆(21)以及两个弹簧(19)，两个所述摇杆(8)与对应的支架(1)之间均固定安装有两个弹簧(19)，两个所述摇杆(8)上均固定安装有一个拉杆(20)，且两个拉杆(20)上均开设有齿槽，所述支架(1)上固定安装有两个卡杆(21)，且两个卡杆(21)分别与对应的齿槽相配合。

4.根据权利要求1所述的一种对极紫外光刻机表面去污的装置，其特征在于，所述转动机构包括齿轮一(14)、齿轮二(15)以及齿条(16)，所述滑块(9)上固定安装有齿条(16)，所述支架(1)上转动安装有齿轮二(15)，且齿轮二(15)与齿条(16)之间相啮合，所述电机一(2)驱动端上固定安装有齿轮一(14)，且齿轮一(14)与齿轮二(15)之间相啮合。

5.根据权利要求1所述的一种对极紫外光刻机表面去污的装置，其特征在于，所述支架(1)底端固定安装有底座，且底座底部固定粘贴有橡胶垫。

6.根据权利要求3所述的一种对极紫外光刻机表面去污的装置，其特征在于，所述卡杆(21)远离支架(1)的一侧采用塑料制成，且卡杆(21)靠近支架(1)的一侧采用钢材质制成。