[实用新型]一种防尘式晶圆加工切面打磨装置

权利要求书

1.一种防尘式晶圆加工切面打磨装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上方设置有壳体(2)，所述底座(1)的一端设置有水箱(3)，所述壳体(2)的一侧设置有烘干箱(5)，所述底座(1)的表面设置有盛料槽(6)，所述盛料槽(6)的一侧设置有夹持结构，所述夹持结构的一侧均匀设置有漏水孔(14)，所述漏水孔(14)的下方设置有锥形集屑箱(21)，所述壳体(2)内壁的一侧设置有电动滑轨(16)，所述壳体(2)通过电动滑轨(16)活动连接有第一打磨结构，所述壳体(2)内壁的另一侧设置有第二打磨结构，所述电动滑轨(16)的一侧均匀设置有消音孔(13)，所述壳体(2)内壁的顶部设置有第一电动伸缩杆(15)，所述第一电动伸缩杆(15)的一端设置有弧形夹具(19)，所述第一电动伸缩杆(15)的一侧均匀设置有出水口(25)，所述壳体(2)内壁的表面设置有抽风机(24)，所述抽风机(24)的一侧设置有收屑盒(4)。

2.根据权利要求1所述的一种防尘式晶圆加工切面打磨装置，其特征在于：所述夹持结构包括螺纹杆(8)，所述螺纹杆(8)的一侧设置有滑杆(7)，所述螺纹杆(8)与滑杆(7)之间螺纹连接有第一夹板(10)，所述螺纹杆(8)的一端设置有第一电机(9)。

3.根据权利要求2所述的一种防尘式晶圆加工切面打磨装置，其特征在于：所述第一夹板(10)的表面均匀设置有弹簧(11)，所述弹簧(11)的一端设置有第二夹板(12)，所述螺纹杆(8)的表面设置有反向螺纹。

4.根据权利要求1所述的一种防尘式晶圆加工切面打磨装置，其特征在于：所述第一打磨结构包括第二电动伸缩杆(22)，所述第二电动伸缩杆(22)的一端设置有圆盘(17)，所述圆盘(17)的表面设置有环形电动滑轨(18)，所述圆盘(17)通过环形电动滑轨(18)活动连接有第二电机(23)，所述第二电机(23)的输出轴连接有磨盘(20)，所述第二打磨结构与第一打磨结构的构造完全相同。

5.根据权利要求1所述的一种防尘式晶圆加工切面打磨装置，其特征在于：所述水箱(3)的顶部设置有进水口，所述水箱(3)的内部设置有水泵(26)，所述水泵(26)的一端通过输水管与出水口(25)相连。

6.根据权利要求1所述的一种防尘式晶圆加工切面打磨装置，其特征在于：所述烘干箱(5)的一侧设置有进风口，所述烘干箱(5)的内部均匀设置有电加热丝管(27)，所述电加热丝管(27)的一侧设置有风机(28)。