[实用新型]一种用于MPCVD设备的尾气处理装置

说明书

本实用新型公开了一种用于MPCVD设备的尾气处理装置，包括外壳，外壳内设置有内腔一、内腔二和内腔三，内腔一内盛放有水，外壳的顶部设置有安装孔一，安装孔一与内腔一连通，安装孔一的内侧壁上固定安装有导气管，外壳的顶部设置有安装孔三，安装孔三与内腔二连通，安装孔三内穿设有固定块，固定块的底部设置有安装槽一，外壳与是固定块上均设置有螺纹孔，螺纹孔内穿设有固定螺栓，内腔三与内腔一的连接区域设置有安装孔四，安装孔四的内侧壁上固定安装有导水管一，该一种用于MPCVD设备的尾气处理装置，便于使用，功能多样，具有良好的发展前景。

技术领域

本实用新型涉及一种尾气处理装置，具体是一种用于MPCVD设备的尾气处理装置，属于MPCVD设备技术领域。

背景技术

MPCVD法合成金刚石的质量与多种因素有关，包括碳源浓度，气体流量大小，气体流量比例，基板台高度，微波功率，合成温度，其中合成温度对于合成金刚石质量具有极大地关系。在批量合成金刚石的过程中，任意一个合成参数的变化，均有可能会影响合成过程的稳定性，尤其对于长时间的设备运行过程中，随着金刚石的生长，这是一个动态的平衡过程，在合成的过程中会产生尾气。

但是，现有的用于MPCVD设备的尾气处理装置，结构较为简单，对尾气的处理手段较为单一，同时，现有的用于MPCVD设备的尾气处理装置对过滤元件更换时较为麻烦。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于MPCVD设备的尾气处理装置，功能多样，便于使用者对其进行回收利用，节约资源。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种用于MPCVD设备的尾气处理装置，包括外壳，所述外壳内设置有内腔一、内腔二和内腔三，所述内腔一内盛放有水，所述外壳的顶部设置有安装孔一，所述安装孔一与所述内腔一连通，所述安装孔一的内侧壁上固定安装有导气管，所述外壳的顶部设置有安装孔三，所述安装孔三与所述内腔二连通，所述安装孔三内穿设有固定块，所述固定块的底部设置有安装槽一，所述外壳与是固定块上均设置有螺纹孔，所述螺纹孔内穿设有固定螺栓，所述内腔三与所述内腔一的连接区域设置有安装孔四，所述安装孔四的内侧壁上固定安装有导水管一，所述导水管一上设置有安装孔五，所述安装孔五的内侧壁上固定安装有电动阀门。

优选的，为了便于内腔二与内腔一连通，所述内腔一与所述内腔二的连接区域设置有安装孔二，所述安装孔二的内侧壁上固定安装有连接管。

优选的，为了便于对尾气进行过滤，所述安装槽一的内侧壁上固定安装有过滤棉，所述过滤棉的一端穿设在所述内腔二内。

优选的，为了便于对外壳内的水进行更换，所述导水管一一端的内侧壁上设置有内螺纹，所述外壳的一侧设置有导水管二。

优选的，为了便于对导水管二进行拆卸，所述导水管二的一端设置有外螺纹，所述导水管一通过所述外螺纹与所述内螺纹的相互配合固定安装在所述导水管一内。

优选的，为了便于对滤袋进行安装，所述导水管二的内侧壁上设置有安装槽二，所述安装槽二的内侧壁上固定安装有连接块。

优选的，为了便于对更换的水进行净化，所述连接块的一侧设置有安装槽三，所述安装槽三的内侧壁上固定安装有滤袋。

本实用新型的有益效果是：

1、当外界的尾气进入导气管内时，可通过导气管进入外壳内的水内，外壳内的水可对尾气内的颗粒和部分有害气体进行过滤，从而可对尾气进行初步处理，过滤后的气体可通过连接管进入内腔二内，内腔二内设置有过滤棉，过滤棉可对尾气进行二次过滤。

2、当使用者需要对外壳内的水进行更换时，可使电动阀门通电工作，电动阀门通电工作后，内腔一内的水可通过导水管一和导水管二排出，导水管二内设置有滤袋，滤袋可对排出的水进行过滤，从而便于使用者对其进行回收利用，节约资源。

附图说明