[实用新型]一种用于MPCVD设备的尾气处理装置

权利要求书

1.一种用于MPCVD设备的尾气处理装置，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)内设置有内腔一、内腔二和内腔三，所述内腔一内盛放有水，所述外壳(1)的顶部设置有安装孔一，所述安装孔一与所述内腔一连通，所述安装孔一的内侧壁上固定安装有导气管(2)，所述外壳(1)的顶部设置有安装孔三，所述安装孔三与所述内腔二连通，所述安装孔三内穿设有固定块(3)，所述固定块(3)的底部设置有安装槽一，所述外壳(1)与是固定块(3)上均设置有螺纹孔，所述螺纹孔内穿设有固定螺栓(4)，所述内腔三与所述内腔一的连接区域设置有安装孔四，所述安装孔四的内侧壁上固定安装有导水管一(5)，所述导水管一(5)上设置有安装孔五，所述安装孔五的内侧壁上固定安装有电动阀门(6)。

2.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD设备的尾气处理装置，其特征在于：所述内腔一与所述内腔二的连接区域设置有安装孔二，所述安装孔二的内侧壁上固定安装有连接管(7)。

3.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD设备的尾气处理装置，其特征在于：所述安装槽一的内侧壁上固定安装有过滤棉(8)，所述过滤棉(8)的一端穿设在所述内腔二内。

4.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD设备的尾气处理装置，其特征在于：所述导水管一(5)端的内侧壁上设置有内螺纹，所述外壳(1)的一侧设置有导水管二(9)。

5.根据权利要求4所述的一种用于MPCVD设备的尾气处理装置，其特征在于：所述导水管二(9)的一端设置有外螺纹，所述导水管一(5)通过所述外螺纹与所述内螺纹的相互配合固定安装在所述导水管一(5)内。

6.根据权利要求5所述的一种用于MPCVD设备的尾气处理装置，其特征在于：所述导水管二(9)的内侧壁上设置有安装槽二，所述安装槽二的内侧壁上固定安装有连接块(10)。

7.根据权利要求6所述的一种用于MPCVD设备的尾气处理装置，其特征在于：所述连接块(10)的一侧设置有安装槽三，所述安装槽三的内侧壁上固定安装有滤袋(11)。