[实用新型]一种显影液喷涂装置和显影设备

说明书

本实用新型实施例公开一种显影液喷涂装置和显影设备，显影液喷涂装置包括储液容器、泵体、换向阀、第一过滤器、第二过滤器、喷头以及流量计，泵体的输入端与储液容器的出液端连接，泵体的输出端与换向阀的输入端连接；第一过滤器的输入端与换向阀的第一输出端连接，第二过滤器的输入端与换向阀的第二输出端连接，第一过滤器的输出端和第二过滤器的输出端均通过流量计与喷头的输入端连接；在流量计统计的流量小于预设的第一阈值时，换向阀的输入端切换为连接换向阀的第一输出端或第二输出端，实现了过滤器堵塞不可用导致流量下降时切换过滤器，显影设备无需停机来更换过滤器，保证了显影设备的作业时间。

技术领域

本实用新型涉及液晶面板制造技术领域，尤其涉及一种显影液喷涂装置和显影设备。

背景技术

显影设备是液晶面板制造行业中必不可少的设备，涂布光阻的玻璃基板经过曝光后进入显影设备，显影设备通过显影液喷涂装置将显影液均匀的撒在玻璃基板上，进而将光罩定义出的图像显现出来。

如图1所示为现有技术中显影设备的显影液喷涂装置，在图1中，从储液容器1＇到喷头3＇的输液管道中设置有一个过滤器2＇，过滤器2＇能够过滤显影液中的杂质，当显影设备使用时间过长时，过滤器2＇处堆积有杂质，过滤器2＇发生堵塞，喷头3＇喷出来的显影液不足甚至无法喷出显影液，导致发生显影不良，因此需要显影设备停机来更换过滤器2＇，无疑减少了显影设备的作业时间。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于：提供一种显影液喷涂装置和显影设备，以解决现有技术中显影设备需要停机来更换过滤器，减少了显影设备的作业时间的问题。

第一方面，本实用新型实施例提供一种显影液喷涂装置，所述显影液喷涂装置包括储存显影液的储液容器、泵体、换向阀、第一过滤器、第二过滤器、喷头以及统计所述显影液的流量的流量计；

所述储液容器设置有输出所述显影液的出液端；

所述泵体的输入端与所述储液容器的出液端连接，所述泵体的输出端与所述换向阀的输入端连接；

所述换向阀包括第一输出端和第二输出端，所述第一过滤器的输入端与所述换向阀的第一输出端连接，所述第二过滤器的输入端与所述换向阀的第二输出端连接，所述第一过滤器的输出端和所述第二过滤器的输出端均通过所述流量计与所述喷头的输入端连接；

在所述流量小于预设的第一阈值时，所述换向阀的输入端从连通至所述第一输出端切换为连通至所述第二输出端，或者所述换向阀的输入端从连通至所述第二输出端切换为连通至所述第一输出端。

可选地，所述显影液喷涂装置还包括控制器，所述控制器分别与所述流量计和所述换向阀电连接，在所述流量计采集到的流量小于预设的第一阈值时，所述控制器向所述换向阀输出换向信号，以驱动所述换向阀的输入端从连通至所述第一输出端切换为连通至所述第二输出端，或者驱动所述换向阀的输入端从连通至所述第二输出端切换为连通至所述第一输出端。

可选地，所述显影液喷涂装置还包括采集所述显影液的压力值的压力计，所述第一过滤器的输出端和所述第二过滤器的输出端均通过所述压力计与所述流量计的输入端连接；

在所述压力值小于预设的压力阈值时，所述换向阀的输入端从连通至所述第一输出端切换为连通至所述第二输出端，或者所述换向阀的输入端从连通至所述第二输出端切换为连通至所述第一输出端。

可选地，所述流量计的输入端设置有流量阀，所述流量阀的输入端与所述第一过滤器的输出端和所述第二过滤器的输出端连接，所述流量阀的输出端与所述流量计的输入端连接，所述控制器与所述流量阀电连接；

在所述流量小于预设的第二阈值时，所述流量阀调节流入所述流量计的输入端的显影液的流量。

可选地，所述泵体的输入端和所述泵体的输出端均设置有第一阀门。