[实用新型]一种显影液喷涂装置和显影设备

权利要求书

1.一种显影液喷涂装置，其特征在于，所述显影液喷涂装置包括储存显影液的储液容器、泵体、换向阀、第一过滤器、第二过滤器、喷头以及统计所述显影液的流量的流量计；

所述储液容器设置有输出所述显影液的出液端；

所述泵体的输入端与所述储液容器的出液端连接，所述泵体的输出端与所述换向阀的输入端连接；

所述换向阀包括第一输出端和第二输出端，所述第一过滤器的输入端与所述换向阀的第一输出端连接，所述第二过滤器的输入端与所述换向阀的第二输出端连接，所述第一过滤器的输出端和所述第二过滤器的输出端均通过所述流量计与所述喷头的输入端连接；

在所述流量小于预设的第一阈值时，所述换向阀的输入端从连通至所述第一输出端切换为连通至所述第二输出端，或者所述换向阀的输入端从连通至所述第二输出端切换为连通至所述第一输出端。

2.根据权利要求1所述的显影液喷涂装置，其特征在于，所述显影液喷涂装置还包括控制器，所述控制器分别与所述流量计和所述换向阀电连接，在所述流量计采集到的流量小于预设的第一阈值时，所述控制器向所述换向阀输出换向信号，以驱动所述换向阀的输入端从连通至所述第一输出端切换为连通至所述第二输出端，或者驱动所述换向阀的输入端从连通至所述第二输出端切换为连通至所述第一输出端。

3.根据权利要求1所述的显影液喷涂装置，其特征在于，所述显影液喷涂装置还包括采集所述显影液的压力值的压力计，所述第一过滤器的输出端和所述第二过滤器的输出端均通过所述压力计与所述流量计的输入端连接；

在所述压力值小于预设的压力阈值时，所述换向阀的输入端从连通至所述第一输出端切换为连通至所述第二输出端，或者所述换向阀的输入端从连通至所述第二输出端切换为连通至所述第一输出端。

4.根据权利要求2所述的显影液喷涂装置，其特征在于，所述流量计的输入端设置有流量阀，所述流量阀的输入端与所述第一过滤器的输出端和所述第二过滤器的输出端连接，所述流量阀的输出端与所述流量计的输入端连接，所述控制器与所述流量阀电连接；

在所述流量小于预设的第二阈值时，所述流量阀调节流入所述流量计的输入端的显影液的流量。

5.根据权利要求1-4任一项所述的显影液喷涂装置，其特征在于，所述泵体的输入端和所述泵体的输出端均设置有第一阀门。

6.根据权利要求1-4任一项所述的显影液喷涂装置，其特征在于，所述第一过滤器的输入端、所述第一过滤器的输出端、所述第二过滤器的输入端和所述第二过滤器的输出端均设置有第二阀门。

7.根据权利要求1-4任一项所述的显影液喷涂装置，其特征在于，所述第一过滤器和所述第二过滤器均为可拆卸式过滤器。

8.根据权利要求1-4任一项所述的显影液喷涂装置，其特征在于，所述换向阀为电磁换向阀。

9.根据权利要求1-4任一项所述的显影液喷涂装置，其特征在于，所述显影液喷涂装置还包括显影液回收组件，所述显影液回收组件的输出端与所述储液容器的进液端连接。

10.一种显影设备，其特征在于，包括显影平台和权利要求1-9任一项所述的显影液喷涂装置；

所述显影平台用于承载待显影的基板；

所述显影液喷涂装置向所述基板喷涂显影液。