[实用新型]一种分段式共面波导薄膜电路结构有效
| 申请号： | 202022433411.3 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN213342802U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 牛斌;范道雨 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | H05K1/02 | 分类号： | H05K1/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 施昊 |
| 地址： | 210016 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 段式 波导 薄膜 电路 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种分段式共面波导薄膜电路结构，其特征在于：包括腔体、薄膜电路基板以及共面波导，所述腔体包括上壳体与下壳体，所述薄膜电路基板悬空设于由上壳体与下壳体构成的密闭空腔中，所述共面波导包括平行设于所述薄膜电路基板上的连续信号线以及设于连续信号线两侧的分段式地线，所述分段式地线上设有多个沿连续信号线信号传输方向设置的间隙；所述分段式地线远离连续信号线的一侧向伸出薄膜电路基板的方向延伸并嵌入所述腔体中，所述薄膜电路基板通过所述分段式地线与腔体焊缝连接；所述连续信号线与分段式地线的厚度为0.5-2μm，长度为3-50μm。
2.根据权利要求1所述的分段式共面波导薄膜电路结构，其特征在于：所述薄膜电路基板的厚度为1-10μm。
3.根据权利要求1所述的分段式共面波导薄膜电路结构，其特征在于：所述薄膜电路基板的材料为半绝缘GaAs材料。
4.根据权利要求1所述的分段式共面波导薄膜电路结构，其特征在于：所述间隙宽度为1-10μm，每个相邻间隙之间的间隔为50-500μm。
5.根据权利要求1所述的分段式共面波导薄膜电路结构，其特征在于：所述分段式地线伸出薄膜电路基板的部分的宽度为3-50μm。
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