[实用新型]一种石墨舟及区熔提纯用设备

权利要求书

1.一种石墨舟，其特征在于，所述石墨舟(4)包括顶部开口的舟体(410)和顶盖(420)，所述顶盖(420)扣于所述开口处，所述舟体(410)的外部为长方形，内腔的沿所述舟体(410)的长度方向依次设置的两端端部为圆弧形；

所述顶盖(420)包括盖片和设置于盖片底部的密封圈(4210)，所述密封圈(4210)的外缘与所述开口密封适配，所述顶盖(420)设置有透明的观测窗。

2.如权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，

所述舟体(410)的厚度为5mm，长度为600mm，所述观测窗的长度为590mm，宽度为10mm。

3.如权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，

所述顶盖(420)为半导体级材料顶盖。

4.一种区熔提纯用设备，其特征在于，包括固定有多个感应线圈的设备支架、设备底座、多个石英管和如权利要求1-3任意所述的多个石墨舟(4)，所述设备支架与所述设备底座滑动连接，所述多个石英管一一对应穿过多个所述感应线圈，所述多个石英管的延伸方向与所述设备支架的滑动方向相同，所述多个石墨舟(4)一一对应设置在所述多个石英管内。

5.如权利要求4所述的区熔提纯用设备，其特征在于，

所述设备支架左右间隔设置的两个支架板和上下设置的两个安装板，所述两个安装板的两端均分别与所述两个支架板固定连接，所述多个感应线圈分为两组且上下交替设置于所述两个安装板之间，并分别与所述两个安装板固定连接。

6.如权利要求4所述的区熔提纯用设备，其特征在于，

所述多个感应线圈与通电设备连接。

7.如权利要求5所述的区熔提纯用设备，其特征在于，

所述设备支架还包括底部连接板，所述底部连接板的两端分别与所述两个支架板的底端连接，所述底座设有传送机，所述设备支架通过所述底部连接板与所述传送机连动。