[实用新型]一种坩埚夹持工装及搬运设备

说明书

本实用新型公开一种坩埚夹持工装及搬运设备，涉及石英坩埚加工技术领域，以适用搬运尺寸不同的石英坩埚，并提高搬运过程的稳定性。该坩埚夹持工装包括：用于可绕悬臂偏转的安装架以及用于夹持石英坩埚的两个夹持机构。安装架设在悬臂上，两个夹持机构可移动的设在安装架上。每个夹持机构包括可翻转夹爪以及设在可翻转夹爪上的两个滚动件。可翻转夹爪位于两个滚动件之间的区域至少用于与石英坩埚配合。当安装架处于偏转状态时，在每个滚动件的配合下，石英坩埚的中心线与两个可翻转夹爪所形成的的中心对正。本实用新型还提供一种具有上述坩埚夹持工装的搬运设备。

技术领域

本实用新型涉及石英坩埚加工技术领域，尤其涉及一种坩埚夹持工装及搬运设备。

背景技术

拉制单晶硅的过程中，石英坩埚是一种消耗性器皿，每生产一炉单晶硅就需要用掉一只石英坩埚。

石英坩埚在生产过程中，需要借助专门的工具对生产好的石英坩埚进行搬运、翻转。由于毛坯的石英坩埚的边角不规则，重量分布不均匀，导致石英坩埚无法直立摆放在平台上。现有的坩埚夹持工装在夹持毛坯的石英坩埚的过程中，由于坩埚夹持工装所具有的夹爪的中心与石英坩埚的中心线不一致，增加了石英坩埚由坩埚夹持工装上摔落的风险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种坩埚夹持工装及搬运设备，以适用搬运尺寸不同的石英坩埚，并提高搬运过程的稳定性。

第一方面，本实用新型提供一种坩埚夹持工装，应用于具有传送装置的搬运设备。传送装置具有用于与坩埚夹持工装配合的悬臂。该坩埚夹持工装包括：用于可绕悬臂偏转的安装架以及用于夹持石英坩埚的两个夹持机构。安装架设在悬臂上。两个夹持机构可移动的设在安装架上。每个夹持机构包括设在安装架上的夹持臂、可翻转夹爪以及设在可翻转夹爪上的两个滚动件。每个可翻转夹爪可活动的设在相应夹持臂的端部。该可翻转夹爪位于两个滚动件之间的区域至少用于与石英坩埚配合。当安装架处于偏转状态时，石英坩埚的中心线与两个可翻转夹爪所形成的中心对正。

采用上述技术方案的情况下，在夹持石英坩埚的过程中，当两个夹持机构之间的距离较小时，两个夹持机构相互远离。当两个夹持机构之间的距离较大时，两个夹持机构相互靠近。当两个夹持机构之间的距离与石英坩埚的尺寸相匹配后，两个夹持机构可以相互配合用于夹持石英坩埚。此时，为了使两个夹持机构能够安装架可以围绕悬臂进行一定角度的偏转，以便使两个可翻转夹爪位于两个滚动件之间的区域与石英坩埚配合，能够有效的补偿石英坩埚与两个可翻转夹爪之间的中心误差。同时，设置在每个可翻转夹爪上的滚动件与石英坩埚之间产生相对位移，使石英坩埚的中心线与两个可翻转夹爪形成的中心趋于统一。由此可见，在可偏转的安装架及各个滚动件的配合下，可以使石英坩埚的中心线与两个可翻转夹爪之间形成的中心对正，可以避免在夹持过程中由于石英坩埚歪斜而导致石英坩埚由坩埚夹持工装上摔落的情况。由此可见，与现有技术相比，本实用新型提供的坩埚夹持工装可以适用搬运尺寸不同的石英坩埚，并提高搬运过程的稳定性。

在一种可能实现的方式中，坩埚夹持工装还包括设在安装架上的至少一个连接件。安装架通过至少一个连接件连接在悬臂上。每个连接件用于向安装架提供偏转中心。

在一种可能实现的方式中，至少一个连接件为活动连接件。活动连接件为铰接件或与悬臂活动连接的螺栓。

在一种可能的实现方式中，至少一个连接件为柔性连接件。柔性连接件包括柔性钢绳或柔性吊带。

在一种可能的实现方式中，为了提高在夹持石英坩埚的过程中的稳定性，防止石英坩埚由坩埚夹持工装上摔落，至少一个连接件设在安装架的中部。

在一种可能的实现方式中，同一可翻转夹爪所设置的两个滚动件的中心轴平行。基于此，可以提高石英坩埚的中心线与两个可翻转夹爪之间所形成的中心趋于统一的过程的稳定性。

在一种可能的实现方式中，每个可移动的夹持机构还包括直线驱动机构。直线驱动机构用于驱动夹持臂沿安装架运动，以调整两个可移动的夹持机构所包括的夹持臂之间的距离。