[实用新型]一种坩埚夹持工装及搬运设备

权利要求书

1.一种坩埚夹持工装，其特征在于，应用于具有传送装置的搬运设备；所述传送装置具有用于与所述坩埚夹持工装配合的悬臂，所述坩埚夹持工装包括：

用于可绕所述悬臂偏转的安装架，所述安装架设在所述悬臂上；

以及用于夹持石英坩埚的两个夹持机构，两个所述夹持机构可移动的设在所述安装架上；每个所述夹持机构包括设在所述安装架上的夹持臂、可翻转夹爪以及设在所述可翻转夹爪上的两个滚动件；每个所述可翻转夹爪可活动的设在相应所述夹持臂的端部，所述可翻转夹爪位于两个所述滚动件之间的区域至少用于与所述石英坩埚配合；当所述安装架处于偏转状态时，在每个所述夹持机构所包括的两个滚动件的配合下，所述石英坩埚的中心线与所述两个可翻转夹爪所形成的中心对正。

2.根据权利要求1所述的坩埚夹持工装，其特征在于，所述坩埚夹持工装还包括设在所述安装架上的至少一个连接件，所述安装架通过所述至少一个连接件连接在所述悬臂上；每个所述连接件用于向所述安装架提供偏转中心。

3.根据权利要求2所述的坩埚夹持工装，其特征在于，至少一个所述连接件为活动连接件，所述活动连接件为铰接件或与所述悬臂活动连接的螺栓；或，

至少一个所述连接件为柔性连接件，所述柔性连接件包括柔性钢绳或柔性吊带。

4.根据权利要求2所述的坩埚夹持工装，其特征在于，所述至少一个连接件设在所述安装架的中部。

5.根据权利要求1-4任一项所述的坩埚夹持工装，其特征在于，同一所述可翻转夹爪所设置的两个滚动件的中心轴平行。

6.根据权利要求1-4任一项所述的坩埚夹持工装，其特征在于，每个所述可移动的夹持机构还包括直线驱动机构，所述直线驱动机构用于驱动所述夹持臂沿所述安装架运动，以调整两个所述可移动的夹持机构所包括的夹持臂之间的距离。

7.根据权利要求6所述的坩埚夹持工装，其特征在于，所述可翻转夹爪包括夹爪本体及用于驱动所述夹爪本体翻转的旋转电机；所述夹爪本体设在所述夹持臂上；所述坩埚夹持工装还包括用于控制所述旋转电机的控制器。

8.根据权利要求6所述的坩埚夹持工装，其特征在于，所述坩埚夹持工装还包括导轨，所述导轨设在所述安装架上，相应所述夹持臂与所述导轨滑动连接。

9.根据权利要求6所述的坩埚夹持工装，其特征在于，所述坩埚夹持工装还包括传感器以及与所述传感器和所述直线驱动机构电连接的控制器，所述传感器设在所述安装架上；

所述传感器用于检测两个所述夹持机构的夹持面之间的距离，所述控制器用于在两个所述夹持机构的夹持面之间的距离与所述石英坩埚匹配的情况下，控制两个所述夹持机构处在相对静止状态；在两个所述夹持机构的夹持面之间的距离与所述石英坩埚不匹配的情况下，控制两个所述夹持机构处在相对运动状态。

10.一种搬运设备，其特征在于，所述搬运设备包括权利要求1-9任一项所述的坩埚夹持工装。