[实用新型]真空腔室和舱门结构

说明书

本实用新型公开了一种舱门结构，包括设置在顶盖上的加样孔和盖装在加样孔外侧的舱门，舱门上设有凸起，凸起在舱门盖装在加样孔上时向内延伸伸入所述加样孔，凸起的内侧侧面与顶盖的内侧侧面之间的间距小于加样靶板的厚度。本实用新型的舱门结构，通过将凸起的内侧侧面与顶盖内侧侧面之间的间距设置为小于加样靶板的厚度，如此，当加样靶板没有安装正确时，凸起的内侧侧面会与加样靶板之间产生干涉，从而导致舱门无法正常关闭，也即本实用新型的舱门结构能够检测加样靶板是否正确安装到靶板槽内；另外，当加样靶板的安装位置有细微误差时，舱门关闭过程中，凸起可压在加样靶板上，将加样靶板压正，使其正确安装在靶板槽内，还能起到纠偏的作用。

技术领域

本实用新型涉及一种真空腔室，具体的为一种真空腔室和舱门结构。

背景技术

现有真空腔室的舱门结构一般包括设置在顶盖上的加样孔和盖装在加样孔外侧的舱门。舱门与加样孔之间设有密封圈等密封结构。使用时，将靶板托盘移动至加样孔内侧，打开舱门后将靶板放置在靶板托盘的靶板槽内，而后盖上舱门，抽真空。

现有真空腔室的舱门结构虽然在一定程度上能够满足使用要求，但仍存在以下不足：

1、无法检测样品是否正确放置在靶板槽内，及当靶板未正确安装在靶板槽内时，舱门结构仍能够顺利关闭；

2、靶板托盘、加样孔和舱门之间形成抽真空空间，该抽真空空间的体积较大，降低了抽真空效率。

发明内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种真空腔室和舱门结构，能够用于检测加样靶板是否正确安装到靶板槽内。

为达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种舱门结构，包括设置在顶盖上的加样孔和盖装在所述加样孔外侧的舱门，所述舱门上设有凸起，所述凸起在舱门盖装在所述加样孔上时向内延伸伸入所述加样孔，所述凸起的内侧侧面与所述顶盖的内侧侧面之间的间距小于加样靶板的厚度。

进一步，所述舱门的外侧设有把手机构，所述把手机构包括把手，所述把手与所述舱门之间设有限位安装机构，所述限位安装机构用于限定所述把手与所述舱门之间的最大间距、并使所述舱门可相对于所述把手在该最大间距范围内移动。

进一步，所述把手与所述舱门之间设有至少一个对所述舱门施加向内的压力的压簧。

进一步，所述把手与所述舱门之间分别对应设有第一压簧槽和第二压簧槽，所述压簧的两端分别安装在所述第一压簧槽和第二压簧槽内。

进一步，所述限位安装机构包括固定安装在所述舱门外侧面上的连接块，所述连接块的两端分别设有限位销；所述把手的内侧面上设有罩在所述连接块外的安装槽，所述安装槽的两侧壁上分别与所述限位销对应设有限位孔；所述限位销上设有延伸伸入对应的所述限位孔内的限位段，所述限位孔在垂直于所述舱门外侧侧面的方向上的长度大于所述限位段的外径、并使所述限位段在垂直于所述舱门外侧侧面的方向上可沿着所述限位孔滑动。

进一步，所述限位孔在平行于所述舱门外侧侧面且垂直于所述限位销轴线的方向上的长度大于所述限位段的外径、并使所述限位段在平行于所述舱门外侧侧面且垂直于所述限位销轴线的方向上可沿着所述限位孔滑动。

进一步，所述连接块的两端分别设有销孔，所述限位销安装在对应的所述销孔内，所述销孔内设有用于将对应的所述限位销朝向对应的所述限位孔顶出的顶出弹簧。

进一步，所述限位销位于所述销孔内的一段与所述限位孔之间限位配合。

进一步，所述把手机构包括固定安装在所述顶盖上的铰接座，所述把手的一端与所述铰接座铰接连接。

进一步，所述把手的另一端与所述顶盖之间设有磁吸结构，所述磁吸结构包括磁铁和磁力传感器。