[实用新型]一种压电式麦克风

说明书

本实用新型提供了一种压电式麦克风，包括具有背腔的基底和设置在基底上的压电振膜，还包括与所述基底连接并位于所述背腔内用于支撑所述压电振膜的至少一个固定梁。通过在背腔中设置用于支撑固定压电振膜的至少一个固定梁，从而将背腔分隔成多个振动区域，使压电振膜可在每个振动区域内形成有一个或两个振动部，从而可通过调整固定梁的位置以及数量可以调整振动部的长度，在相同芯片面积下使麦克风达到最大信噪比，解决了现有技术中由于在芯片尺寸较大时产生过长膜片导致影响谐振频率，进而影响麦克风的信噪比性能的技术问题。

【技术领域】

本实用新型涉及声电转换装置技术领域,具体涉及一种压电式麦克风。

【背景技术】

如图1所示，现有压电式麦克风的压电振膜设置在具有背腔3的基底1上，其由多个膜片2组成，在背腔3的相对两端分别连接有一膜片2的固定端，膜片2另一端朝背腔3中心延伸形成悬臂梁结构，在声压作用下膜片弯曲，弯曲部位的压电薄膜受力产生电信号。

但是，膜片采用背腔边缘固定的悬臂梁结构限制了膜片的长度至少为背腔大小的一半，在芯片尺寸较大时将产生过长的膜片，从而影响谐振频率，背腔边缘固定的结构将限制膜片的形状，在同样芯片面积下不能得到最优化的信噪比。

因此，为了提升压电式麦克风的信噪比，有必要对结构进行改进以提升信噪比。

【实用新型内容】

本实用新型的目的在于提供一种压电式麦克风，通过改进压电振膜的结构，提升麦克风的信噪比。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种压电式麦克风。包括具有背腔的基底和设置在基底上的压电振膜，还包括与所述基底连接并位于所述背腔内用于支撑所述压电振膜的至少一个固定梁。

在一个实施例中，所述至少一个固定梁将所述背腔的上端分隔成至少两个振动区域，所述压电振膜于每个所述振动区域内均设有一个缝隙，所述缝隙将所述压电振膜位于该区域内的部分分割成至少一个振动部，所述振动部包括与所述基底或固定梁连接的固定端、悬置于所述振动区域上的振动端、以及连接所述固定端和振动端的连接部。

在一个实施例中，所述固定梁为长条状结构，并设置于所述背腔的中心线或与所述中心线平行。

在一个实施例中，每一所述缝隙包括第一段缝隙、第二段缝隙以及第三段缝隙，所述第一段缝隙和第二段缝隙相互间隔设置并与所述中心线垂直，所述第三段缝隙与所述中心线平行并分别与所述第一段缝隙和第二段缝隙连通。

在一个实施例中，所述第三段缝隙的两端分别连通于所述第一段缝隙和第二段缝隙的中心。

在一个实施例中，所述第三段缝隙的两端分别连通于所述第一段缝隙和第二段缝隙的端部。

在一个实施例中，所述压电振膜由至少两层电极层和至少一层压电层组成，最外两层设置所述电极层，相邻的两层电极层之间由所述压电层隔开。

与现有技术相比，本实用新型通过在背腔中设置用于支撑固定压电振膜的至少一个固定梁，从而将背腔分隔成多个振动区域，使压电振膜可在每个振动区域内形成有一个或两个振动部，从而可通过调整固定梁的位置以及数量可以调整振动部的长度，在相同芯片面积下使麦克风达到最大信噪比，解决了现有技术中由于在芯片尺寸较大时产生过长膜片导致影响谐振频率，进而影响麦克风的信噪比性能的技术问题。

【附图说明】

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中压电麦克风的结构示意图；

图2为本实用新型实施例压电式麦克风的立体结构示意图；