[实用新型]一种压电式麦克风

权利要求书

1.一种压电式麦克风，包括具有背腔的基底和设置在基底上的压电振膜，其特征在于，还包括与所述基底连接并位于所述背腔内用于支撑所述压电振膜的至少一个固定梁。

2.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于：所述至少一个固定梁将所述背腔的上端分隔成至少两个振动区域，所述压电振膜于每个所述振动区域内均设有一个缝隙，所述缝隙将所述压电振膜位于该区域内的部分分割成至少一个振动部，所述振动部包括与所述基底或固定梁连接的固定端、悬置于所述振动区域上的振动端、以及连接所述固定端和振动端的连接部。

3.根据权利要求2所述的压电式麦克风，其特征在于，所述固定梁为长条状结构，并设置于所述背腔的中心线或与所述中心线平行。

4.根据权利要求3所述的压电式麦克风，其特征在于，每一所述缝隙包括第一段缝隙、第二段缝隙以及第三段缝隙，所述第一段缝隙和第二段缝隙相互间隔设置并与所述中心线垂直，所述第三段缝隙与所述中心线平行并分别与所述第一段缝隙和第二段缝隙连通。

5.根据权利要求4所述的压电式麦克风，其特征在于，所述第三段缝隙的两端分别连通于所述第一段缝隙和第二段缝隙的中心。

6.根据权利要求4所述的压电式麦克风，其特征在于，所述第三段缝隙的两端分别连通于所述第一段缝隙和第二段缝隙的端部。

7.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，所述压电振膜由至少两层电极层和至少一层压电层组成，最外两层设置所述电极层，相邻的两层电极层之间由所述压电层隔开。