[实用新型]一种掩膜板

说明书

本实用新型涉及掩膜板技术领域，特别涉及了一种掩膜板，掩膜板包括：多个掩膜条，多个掩膜条呈网格状分布并间隔出多个开口；所述掩膜条包括相对设置的正面和反面，其中，所述正面为朝向待蒸镀膜层的一面；所述正面上设置有与所述开口连通的收容部，所述收容部包括邻近所述开口的边缘的第一面，所述第一面到所述反面的第一距离大于所述收容部的最低点到所述反面的第二距离，所述第一距离小于所述正面到所述反面的第三距离。本实用新型提供的掩膜板能够提高使用该掩膜板制备出来的显示面板的产品良率。

技术领域

本实用新型涉及掩膜板技术领域，特别涉及一种掩膜板。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode)称为有机电致发光二极管。OLED显示技术具有全固态、主动发光、高对比度、超薄、低功耗、效应速度快、工作范围宽、易于实现柔性显示和3D显示等诸多优点，使它在目前在众多显示设备上得到应用，例如应用于电视机和移动设备上。

制造OLED的工艺过程包括多种工艺技术，其中，掩膜板技术是主要技术之一，通常采用掩膜板并通过蒸镀工艺制作阴极。掩膜板的品质的好坏影响着OLED制造工艺的良率。

现有技术制作的掩膜板的质量有待提高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种掩膜板，其能够提高使用该掩膜板制备出来的显示面板的产品良率。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种掩膜版，包括：

多个掩膜条，多个所述掩膜条呈网格状分布并间隔出多个开口；所述掩膜条包括相对设置的正面和反面，其中，所述正面为朝向待蒸镀膜层的一面；所述正面上设置有与所述开口连通的收容部，所述收容部包括邻近所述开口的边缘的第一面，所述第一面到所述反面的第一距离大于所述收容部的最低点到所述反面的第二距离，所述第一距离小于所述正面到所述反面的第三距离。

另外，所述收容部包括第一收容部和第二收容部，所述第一收容部设置于所述正面且与所述开口连通，所述第一收容部包括邻近所述反面的第二面，所述第二收容部设置于所述第二面；其中，所述第二收容部的最低点为所述收容部的最低点，所述第一面为所述第二面未设置所述第二收容部、且邻近所述开口的边缘的部分。本实施例提供了一种收容部的可实施方式。

另外，所述收容部还包括第三面，所述第三面为所述第二面未设置所述第二收容部、且远离所述开口的边缘的部分。

另外，所述第一收容部为自所述正面朝靠近所述反面的方向凹陷的第一凹槽；所述第二收容部为自所述第二面朝靠近所述反面的方向凹陷的第二凹槽。凹槽的方式更有利于杂质掉入收容空间内。

另外，所述第一凹槽的槽宽在0.4微米至0.5微米之间。通过设置此种范围的第一凹槽的槽宽，一方面能够确保在基板上蒸镀待蒸镀膜层时，掩膜条与基板在开口边缘的交界处预留有足够的间隙，从而确保杂质不会在掩膜条与基板在邻近开口边缘的交界处聚集；另一方面也能够避免第一凹槽过宽而影响掩膜板的结构强度，从而提高了掩膜板的可靠性。

另外，所述第二凹槽的槽宽与所述第一凹槽的槽宽的比值在0.8至0.9之间。通过此种比例范围的设置，能够进一步确保其他来源的杂质会掉入第二凹槽内，从而被第二凹槽收容，确保杂质无法从第二凹槽内再次掉出，进一步提高了使用掩膜板制备出来的显示面板的产品良率。

另外，所述第一凹槽的槽深和所述第二凹槽的槽深之和，与所述掩膜板的厚度的比值在0.1至0.2之间。若第一凹槽的槽深和第二凹槽的槽深之和较大，会导致掩膜板出现厚度较薄的区域，影响掩膜板的强度，因此可以将第一凹槽的槽深和第二凹槽的槽深之和控制在掩膜板厚度的0.1至0.2之间。

另外，所述第二收容部为多个，多个所述第二收容部间隔设置。提供了第二收容部的多种设置方式。