[实用新型]一种掩膜板

权利要求书

1.一种掩膜板，其特征在于，包括：

多个掩膜条，多个所述掩膜条呈网格状分布并间隔出多个开口；

所述掩膜条包括相对设置的正面和反面，其中，所述正面为朝向待蒸镀膜层的一面；

所述正面上设置有与所述开口连通的收容部，所述收容部包括邻近所述开口的边缘的第一面，所述第一面到所述反面的第一距离大于所述收容部的最低点到所述反面的第二距离，所述第一距离小于所述正面到所述反面的第三距离。

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述收容部包括第一收容部和第二收容部，所述第一收容部设置于所述正面且与所述开口连通，所述第一收容部包括邻近所述反面的第二面，所述第二收容部设置于所述第二面；

其中，所述第二收容部的最低点为所述收容部的最低点，所述第一面为所述第二面未设置所述第二收容部、且邻近所述开口的边缘的部分。

3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述收容部还包括第三面，所述第三面为所述第二面未设置所述第二收容部、且远离所述开口的边缘的部分。

4.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第一收容部为自所述正面朝靠近所述反面的方向凹陷的第一凹槽；所述第二收容部为自所述第二面朝靠近所述反面的方向凹陷的第二凹槽。

5.根据权利要求4所述的掩膜板，其特征在于，所述第一凹槽的槽宽在0.4微米至0.5微米之间。

6.根据权利要求4所述的掩膜板，其特征在于，所述第二凹槽的槽宽与所述第一凹槽的槽宽的比值在0.8至0.9之间。

7.根据权利要求4所述的掩膜板，其特征在于，所述第一凹槽的槽深和所述第二凹槽的槽深之和，与所述掩膜板的厚度的比值在0.1至0.2之间。

8.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第二收容部为多个，多个所述第二收容部间隔设置。

9.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第二收容部为多个，多个所述第二收容部连接设置。

10.根据权利要求2至9任一项所述的掩膜板，其特征在于，所述第二收容部的纵截面形状为半圆形、椭圆形、多边形和非规则图形中的至少一种。