[实用新型]一种端盖及其燃烧式废气处理装置

说明书

本实用新型实施例提供一种端盖及其燃烧式废气处理装置，该端盖包括：盖体，盖体用于安装于燃烧式废气处理装置上；第一安装口，第一安装口形成于盖体上，用于安装补偿器，补偿器的气体出口用于伸向燃烧式废气处理装置内；第二安装口，第二安装口形成于盖体上，用于安装点火电极，点火电极的放电端用于伸向补偿器的气体出口；本实用新型通过对废气进行腔内点火，确保了点火的稳定性和可靠性，可形成稳定的燃烧火焰，防止因端盖内侧的气体吹扫而导致点火熄灭，不仅点火结构简单、成本低廉，而且确保了燃烧式废气处理装置对废气燃烧作业的可靠性。

技术领域

本实用新型涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种端盖及其燃烧式废气处理装置。

背景技术

燃烧式废气处理装置是通过对废气燃烧时的热氧化作用，将废气中的可燃有害成分转化为无害物或易于进一步处理与回收的产物的装置。燃烧式废气处理装置在上世纪20年代就已经广泛应用于各个行业中，它对于各种废气的处理能力，尤其是针对一些复杂的混合气体的处理能力优越于其它各种形式的气体处理设备，在此，废气主要指有毒、有害或者易燃易爆的气体，如在半导体制程中产生的具有强烈腐蚀性的半导体废气，半导体废气包括氯气、氯化氢、氟化氢、氟气、氨气等。

现有的燃烧式废气处理装置普遍设计为腔外点火的燃烧形式，并将点火系统设置于燃烧式废气处理装置的端盖上，其中，点火系统结构复杂，主要是在补偿器上集成点火电极，补偿器内的助燃气体在被点火电极点燃后，直接通入至燃烧式废气处理装置的燃烧室内，以将燃烧室内的可燃废气点燃。由于对可燃废气燃烧时，通常需要对端盖上的各个废气入口进行吹扫，以防止废气入口堵塞，并确保端盖的温度维持在适宜的温度范围，但在进行腔外点火时，通过补偿器输出的火焰的流量大、流速低，在气体的吹扫下容易熄灭，从而导致点火不稳定可靠，严重影响了燃烧式废气处理装置工作的可靠性。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种端盖及其燃烧式废气处理装置，用以解决现有的设置于燃烧式废气处理装置端盖上的点火系统结构复杂、点火不稳定可靠，严重影响到燃烧式废气处理装置工作可靠性的问题。

本实用新型实施例提供一种端盖，包括：盖体，所述盖体用于安装于燃烧式废气处理装置上；第一安装口，所述第一安装口形成于所述盖体上，并用于安装补偿器，所述补偿器的气体出口用于伸向所述燃烧式废气处理装置内；第二安装口，所述第二安装口形成于所述盖体上，并用于安装点火电极，所述点火电极的放电端用于伸向所述补偿器的气体出口。

根据本实用新型一个实施例的端盖，所述补偿器的气体出口连通排气管的一端，所述排气管的另一端用于伸向所述燃烧式废气处理装置内。

根据本实用新型一个实施例的端盖，所述点火电极的放电端用于与所述排气管的排气方向排布呈预设夹角，所述预设夹角的大小为30°-60°；和/或，所述点火电极为火花塞。

根据本实用新型一个实施例的端盖，所述盖体上还形成有多个废气入口，所述废气入口以所述第一安装口为轴心以预设旋向沿圆周排布。

根据本实用新型一个实施例的端盖，所述盖体用于朝向所述燃烧式废气处理装置内侧的端面形成有吹扫结构，所述吹扫结构具有与所述废气入口相对应的吹扫出口。

根据本实用新型一个实施例的端盖，所述吹扫结构包括吹扫入口、吹扫通道及所述吹扫出口，所述吹扫入口连通所述吹扫通道，所述吹扫通道排布呈环形，所述吹扫通道连通多个所述吹扫出口，所述吹扫出口与所述废气入口一一对应。

根据本实用新型一个实施例的端盖，所述盖体包括上盖体和下盖体，所述上盖体同轴安装于下盖体上，所述上盖体的直径小于下盖体，所述上盖体内形成有冷却结构，所述下盖体上设置有用于连接所述燃烧式废气处理装置的安装结构。

根据本实用新型一个实施例的端盖，所述冷却结构包括进气口、空冷腔和出气口，所述进气口用于通入压缩空气，并连通所述空冷腔，所述空冷腔连通所述出气口。