[实用新型]一种电子探针用新型样品台

说明书

本实用新型公开了一种电子探针用新型样品台，包括样品台，标样孔槽，探针片槽，横向支撑杆，纵向支撑杆，紧固压片，滑槽，紧固螺母，横向定位孔和纵向定位孔，所述样品台内部设置有标样孔槽，所述标样孔槽下侧设置有探针片槽，所述探针片槽内部连接有横向支撑杆，所述横向支撑杆左右两侧设置有横向定位孔，所述横向支撑杆上侧设置有纵向支撑杆，所述纵向支撑杆前后两侧设置有纵向定位孔，所述探针片槽下侧设置有紧固压片，所述紧固压片上侧设置有贯穿的滑槽，所述滑槽内部连接有紧固螺母，该实用新型在放入探针片的同时，可以放入标准样品靶，并对于非常规尺寸的样品片也可以直接放入样品台，不用对其二次加工，更加符合实际测试过程中的应用。

技术领域

本实用新型涉及地质设备技术领域，具体为一种电子探针用新型样品台。

背景技术

现有电子探针的样品台都是放置样品(探针片、靶)的样品台与放置标样的样品台是分开的(原样品台见图1)，在实际生产中，测试样品多以探针片为主，样品靶次之，但是标样，无论是美国SPI标样还是国标，都是圆形的具有一定厚度的标样靶，在正常测试过程中，要先放入标样样品台，然后在全部测试完标样以后，再将标样取出，将放置样品的样品台放入仪器，但是在测试过程中如果出现数据有偏差，想要对标样进行测试查看问题出现的原因，就需要将样品取出，在将标样放入，不仅需要抽放真空，操作繁琐且耗时，而且样品再放入后，位置会有偏差，后期打点、拍照、投图都会有影响，在日常测试中也无法做到随时插入监控样，无法实时监控数据质量。

对于现在测试的探针片基本都是有固定尺寸的，但是也会偶尔有非常规尺寸的片子要进行测试，就要对其进行切割处理，会存在污染样品的风险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电子探针用新型样品台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种电子探针用新型样品台，包括样品台，标样孔槽，探针片槽，横向支撑杆，纵向支撑杆，紧固压片，滑槽，紧固螺母，横向定位孔和纵向定位孔，所述样品台内部设置有标样孔槽，所述标样孔槽下侧设置有探针片槽，所述探针片槽内部连接有横向支撑杆，所述横向支撑杆左右两侧设置有横向定位孔，所述横向支撑杆上侧设置有纵向支撑杆，所述纵向支撑杆前后两侧设置有纵向定位孔，所述探针片槽下侧设置有紧固压片，所述紧固压片上侧设置有贯穿的滑槽，所述滑槽内部连接有紧固螺母。

优选的，述横向支撑杆与纵向支撑杆分别通过横向定位孔与纵向定位孔的作用设置在探针片槽内部，且横向支撑杆与纵向支撑杆呈“井”字型结构，所述横向定位孔与纵向定位孔在不使用的时候有相对应的堵塞装置。

优选的，述标样孔槽共有两个，且左右对称设置。

优选的，述紧固压片共四个，下端均匀分布三个，上端中心位置设置有一个。

优选的，所述样品台上侧设置有定位孔，所述定位孔与紧固螺母通过螺纹连接，对紧固压片进行紧固连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该实用新型在放入探针片的同时，可以放入标准样品靶，并对于非常规尺寸的样品片也可以直接放入样品台，而不用对其进行二次加工，更加符合实际测试过程中的应用，更加方便有效的监控数据质量。

1、设计有两个放置标样靶的标样孔槽，这样更加方便测试，可以同时放入3个探针片和两个标样靶，如果遇到数据不稳定的问题，不需要来回抽放真空进行样品交换，可以直接移到标样上进行测试，从而查找问题，在数据监控的时候也更方便的去穿插标样，来监控数据质量以及仪器稳定性。

2、在样品台的探针片槽内部增加3条支撑杆，在原本3个下方紧固压片的基础上，在上方正中间增加一个紧固压片，更加能够满足不同尺寸的样品片的放入和固定。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的侧面结构示意图；