[实用新型]一种掩膜版的包装装置有效

专利信息
申请号: 202021712382.8 申请日: 2020-08-17
公开(公告)号: CN213293323U 公开(公告)日: 2021-05-28
发明(设计)人: 钱超;吴建 申请(专利权)人: 江苏高光半导体材料有限公司
主分类号: B65D53/02 分类号: B65D53/02;B65D55/02;B65D81/20
代理公司: 南京天华专利代理有限责任公司 32218 代理人: 庄沙丽;徐冬涛
地址: 212400 江苏省镇*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 掩膜版 包装 装置
【权利要求书】:

1.一种掩膜版的包装装置,包括盒体和盒盖,盒体内四个角落有底座,其特征在于:所述盒盖上与盒体的接触面上固定有密封圈,密封圈的表面凸出于盒盖,所述盒体上与盒盖密封圈接触的位置设有密封圈凹槽,盒体和盒盖盖在一起后密封圈嵌在密封圈凹槽内,所述盒体和盒盖之间具有将盒盖锁紧到盒体上的锁扣,所述盒体侧壁上设有真空抽气阀。

2.根据权利要求1所述的掩膜版的包装装置,其特征在于:所述真空抽气阀包括筒状阀套、位于阀套内的阀杆和套设在阀杆上的弹簧,阀套两端分别靠近盒体内外两侧,阀套内壁上设有环形的弹簧固定座,弹簧的一端固定连接在弹簧固定座上、另一端固定在阀杆靠近盒体内侧的一端上,阀杆靠近盒体内侧的端面上固定连接有密封塞,密封塞位于阀套外部用于与阀套端面密封挡止配合。

3.根据权利要求2所述的掩膜版的包装装置,其特征在于:所述密封塞上与阀套端面接触的一面上安装有密封垫片。

4.根据权利要求2所述的掩膜版的包装装置,其特征在于:所述阀套靠近盒体内的一端是从盒体外侧向内侧逐渐缩小的锥形段。

5.根据权利要求2所述的掩膜版的包装装置,其特征在于:所述阀套外设有密封安装套,密封安装套的内外两侧分别与阀套外表面和盒体壁面密封配合。

6.根据权利要求1所述的掩膜版的包装装置,其特征在于:所述锁扣包括固定在盒盖上的锁座和设置在盒体外壁上的扣环,扣环用于卡紧在锁座上。

7.根据权利要求1所述的掩膜版的包装装置,其特征在于:所述盒体和盒盖由透明亚克力或透明塑料制成。

8.根据权利要求1所述的掩膜版的包装装置,其特征在于:所述密封圈凹槽的截面为半圆形。

9.根据权利要求1所述的掩膜版的包装装置,其特征在于:所述密封圈为橡胶或硅胶密封圈。

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