[实用新型]一种阴极组件检漏系统

说明书

本实用新型提供一种阴极组件检漏系统，包括阴极组件和检漏设备，检漏设备包括控制装置、检漏仪、真空泵和气源，检漏仪包括上夹具和下夹具，阴极组件倒扣安装在下夹具上，上夹具设置为开口向下的筒状结构，阴极组件的连接管、支持体和端子暴露在下夹具的上部外侧，上夹具包裹在连接管、支持体和端子的外部。通过上下夹具的设置，使得对阴极组件进行检漏时，上夹具与下夹具之间通过阴极组件隔离，当阴极组件有细小裂缝或焊接不严密时，上夹具内部的氦气分子通过阴极组件上的裂缝进入下夹具内部，破坏真空度，由此对阴极组件上的细小裂缝进行检测，灵敏度和检测精度更高，并且设备可以设置为上夹具或下夹具移动，适用范围更加广泛。

技术领域

本实用新型涉及产生微波设备的磁控管领域，具体而言，涉及一种磁控管阴极组件检漏系统。

背景技术

众所周知，连续波磁控管是一种重入式谐振型正交场振荡器，是微波技术中的一种高功率源。磁控管由谐振系统、阴极组件及能量输出装置等部件组成，由通电的钍钨阴极达到一定温度后开始发射电子，发射电子在正交的直流电磁场中产生高速旋转电子云(即高频场)。当电子云的旋转与谐振腔达到同步时，电子云就将能量转交给谐振系统，产生微波，然后微波由能量输出系统输出到所用部件如微波炉的波导中。

现有技术中公开号为CN101527245B的专利公开了一种磁控管结构，如图 1所示，包括阳极组件、阴极组件、磁极和微波发射器，阳极组件和阴极组件构成管芯，阳极组件包括阳极筒，阳极筒两端分别设置有上磁极靴、下磁极靴，内中央设置有阳极板，阳极板上、下端面分别与上、下磁极靴端面形成不对称腔。阴极组件由本体、K侧管、下端帽组件和长引线构成。本体高度为 17.5mm，K侧管高度为10.65mm，下端帽组件长度为18.5mm，长引线长度29.8mm。本体顶面还对应长引线和下端帽组件设置有两块导电片，每块导电片的表面一侧分别与长引线和下端帽组件连接，另一侧与导电引线连接，导电引线穿出本体外。

磁控管组装以后，为了把磁控管变成真空状态切断的部分，在磁控管的下端设置阴极组件，阴极组件包括本体、侧管、下端帽组件和长引线，阴极组件通过侧管与阳极筒连接在安装阴极组件之前，需保证阴极组件中各个零件之间密封良好。而如何高效、精确地对阴极组件进行检漏是磁控管领域目前亟待解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种阴极组件检漏系统，以解决现有技术中缺少阴极组件高效、精确检漏的方法及系统的问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种阴极组件检漏系统，包括阴极组件和检漏设备，检漏设备包括控制装置、检漏仪、真空泵和气源，所述检漏仪包括上夹具和下夹具，所述阴极组件倒扣安装在所述下夹具上，所述上夹具设置为开口向下的筒状结构，所述阴极组件的连接管、支持体和端子暴露在所述下夹具的上部外侧，所述上夹具包裹在所述连接管、支持体和端子的外部。通过上下夹具的设置，使得对阴极组件进行检漏时，上夹具与下夹具之间通过阴极组件隔离，当阴极组件有细小裂缝或焊接不严密时，上夹具内部的氦气分子会通过阴极组件上的裂缝进入下夹具内部，破坏真空度，由此对阴极组件上的细小裂缝进行检测，灵敏度和检测精度更高，并且设备可以设置为上夹具移动、或下夹具移动，可适用于不同的工况，适用范围更加广泛。

进一步的，所述阴极组件与上夹具或下夹具之间形成容纳腔，所述真空泵与可升降的上夹具或下夹具连通，通过真空泵对所述阴极组件和上夹具内部或所述阴极组件和下夹具内部进行抽真空操作。通过真空度判断阴极组件是否有裂缝或焊接不严密等问题。

进一步的，所述气源与固定不动的下夹具或上夹具连通，所述气源用于向下夹具或上夹具内部充气。气源设置为氦气，当阴极组件有细小裂缝或焊接不严密时，下夹具或上夹具内部的氦气分子会通过阴极组件上的裂缝进入容纳腔内部，破坏容纳腔内部的真空度，由此对阴极组件上的细小裂缝进行检测，灵敏度和检测精度更高。