[实用新型]一种集成真空测量室

权利要求书

1.一种集成真空测量室，其特征在于：其包括室体、若干功能单元、用于连接待抽空件的真空快卸法兰和用于连接抽空机组的抽空机组连接法兰，真空快卸法兰与室体密封连接，抽空机组连接法兰与室体之间设有气动高真空挡板阀，气动高真空挡板阀的两端分别与室体及抽空机组连接法兰密封连接；所述的室体上设有若干用于连接功能单元的功能接口，功能接口的接管与室体密封连接，功能单元连接在功能接口上或直接与室体连接。

2.根据权利要求1所述的集成真空测量室，其特征在于：所述的功能单元包括用于置换待抽空件内部气体的氮气置换单元，氮气置换单元包括与室体连接的氮气进气控制阀门、与氮气进气控制阀门连接的用于检测氮气温度的氮气进气温度测量传感器以及与氮气进气温度测量传感器连接并连通氮气源的氮气管路。

3.根据权利要求2所述的集成真空测量室，其特征在于：所述的功能单元还包括用于抽空过程中测量待抽空件真空度的真空规管，真空规管连接在功能接口上。

4.根据权利要求3所述的集成真空测量室，其特征在于：所述的功能单元还包括用于氮气置换过程中监测待抽空件中氮气压力的压力传感器，压力传感器固定在室体上并与室体的内腔连通。

5.根据权利要求4所述的集成真空测量室，其特征在于：所述的功能单元还包括用于将室体负压环境平衡至大气压的平衡阀，平衡阀连接在功能接口上。

6.根据权利要求1所述的集成真空测量室，其特征在于：所述的功能接口均为真空密封接口，功能接口的接管均与室体焊接并密封。

7.根据权利要求1所述的集成真空测量室，其特征在于：所述的室体为圆筒结构，室体的内径为50mm～150mm，室体的总长度200mm～400mm。

8.根据权利要求1所述的集成真空测量室，其特征在于：所述的功能接口沿室体的长度方向布置。