[实用新型]一种真空镀膜用升华炉有效

专利信息
申请号: 202021601302.1 申请日: 2020-08-05
公开(公告)号: CN213232472U 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 渠艳良;李雷 申请(专利权)人: 派珂纳米科技(苏州)有限公司
主分类号: C23C14/26 分类号: C23C14/26
代理公司: 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 代理人: 范圆圆
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 升华
【说明书】:

实用新型提供了一种真空镀膜用升华炉,包括升华管和加热炉,加热炉滑动套设在升华管外,加热炉的内壁上设有加热片;升华管的一端设有进料口以及与进料口相匹配的端盖,另一端设有出气口;出气口的内侧设有隔热滤芯,既能过滤镀膜材料内的粉尘杂质,又能隔绝温度流,防止升华管和分解炉串温,保证了镀膜质量。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域,具体涉及一种真空镀膜用升华炉。

背景技术

传统的真空镀膜工艺,通常需要先通过升华炉对镀膜材料进行加热升华,升华后的镀膜材料进入分解炉内进行分解雾化后,再进入涂膜室内对产品进行镀膜。利用升华炉进行加热升华时,镀膜材料内的杂质粉尘等也会随之进入分解炉甚至是镀膜室内,影响镀膜效果。

实用新型内容

针对上述技术问题,本实用新型提供了一种真空镀膜用升华炉。

一种真空镀膜用升华炉,包括升华管以及用于给升华管加热升华的加热炉,所述升华管的一端设有进料口以及与进料口相匹配的端盖,升华管的另一端设有出气口,所述出气口的内侧设有隔热滤芯;所述加热炉滑动套设在所述升华管外,加热炉的内壁上设有一圈加热片。

优选的,所述加热片的长度略大于所述升华管。

优选的,所述升华管内设有升华舟,所述升华舟靠近所述进料口的一端设有把手。

优选的,所述端盖的内侧设有密封垫。

本实用新型的有益效果是:在升华管的出气口内侧设有隔热滤芯,既能过滤镀膜材料内的粉尘杂质,又能隔绝温度流,防止升华管和后端的分解炉串温,保证了镀膜质量。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1为本实用新型实施例的整体结构示意图;

图中数字表示:

1、升华管 2、加热炉 3、端盖 4、密封垫 5、升华舟 6、隔热滤芯 7、加热片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型的描述中,需要理解的是,术语中“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了方便描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位,以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。

如图1所示,一种真空镀膜用升华炉,包括升华管1以及用于给升华管1加热升华的加热炉2。升华管1的左端设有进料口以及与进料口相匹配的端盖3,端盖3的内侧设有密封垫4。升华管1内设有升华舟5,升华舟5的左端设有把手。打开端盖3即可将升华舟5拉出放料。升华管1的右端设有出气口,升华后的镀膜材料通过出气口进入分解炉分解雾化。出气口的内侧设有隔热滤芯6,既能过滤镀膜材料内的粉尘杂质,又能隔绝温度流,防止升华管1和分解炉串温,保证了镀膜质量。

加热炉2滑动套设在升华管1外,将加热炉2移开后即可从升华管1左端的进料口进料。加热炉2的内壁上设有一圈加热片7,加热片7的长度略大于升华管1,使其能完全将升华管1包围,从而对升华管1均匀加热。

对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。

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