[实用新型]一种多晶硅生产中尾气处理装置

说明书

本实用新型公开了一种多晶硅生产中尾气处理装置，属于多晶硅生产技术领域，包括水解塔、与水解塔塔釜相连的第一酸洗池、淋洗吸收塔、与淋洗吸收塔塔釜相连的第二酸洗池、淋洗洗漱塔和与淋洗洗漱塔相连的第三酸洗池，水解塔上方设有文丘里洗器，文丘里洗器与尾气进气管相连，文丘里洗器与第一洗涤管相连，第一洗涤泵与第二酸洗池相连，水解塔与淋洗吸收塔相连，淋洗吸收塔上设有第一喷嘴，第一喷嘴与第二洗涤管相连，淋洗吸收塔上与淋洗洗漱塔相连，淋洗洗漱塔上设有第二喷嘴，第二喷嘴与第一补液管相连，淋洗洗漱塔设有出气口，第一酸洗池、第二酸洗池和第三酸洗池依次相连。本实用新型减少液体的使用量，又能保证尾气的处理效果。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，具体涉及一种多晶硅生产中尾气处理装置。

背景技术

多晶硅材料是以硅为原料经一系列物理化学反应提纯后达到一定纯度的电子材料，是硅产品产业链中一个极为重要的中间产品，是制造硅抛光片、太阳能电池及高纯硅制品的主要原料，是半导体、电子信息业、太阳能光伏电池业最基础的功能性材料。多晶硅行业生产过程产生的废气中含大量氯硅烷，为了使废气能够得到有效处理以及使尾气能够达标排放，目前国内主要采用传统的水洗工艺进行处理，即用工业水对烟气进行洗涤，水解废气中的氯硅烷。现有的水洗方法为将烟气依次通过水解塔和淋洗塔，水解塔和淋洗塔流出的液体直接排放至水洗池，将水洗池的水通过泵直接打回水解塔和淋洗塔进行重复利用，水洗池的液体少量外排和补充。但是现有的水洗装置仍然存在淋洗效果不好，处理后的尾气排放仍然氯硅烷等有害气体。

实用新型内容

本实用新型旨在解决现有技术中存在的问题，提供一种多晶硅生产中尾气处理装置，本实用新型第三酸洗池内的液体通过溢流口进入第二酸洗池，第二酸洗池内的液体通过溢流口进入第一酸洗池，第一酸洗池内多余的液体通过溢流口排入污水处理装置，第三酸洗池、第二酸洗池和第一酸洗池内的浓度依次增高，采用不同浓度的液体对尾气进行水解淋洗，即能减少液体的使用量，又能保证尾气的处理效果。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

一种多晶硅生产中尾气处理装置，其特征在于：包括水解塔、与水解塔塔釜相连的第一酸洗池、淋洗吸收塔、与淋洗吸收塔塔釜相连的第二酸洗池、淋洗洗漱塔和与淋洗洗漱塔相连的第三酸洗池，所述水解塔上方设置有文丘里洗器，所述文丘里洗器上的第一进气口与尾气进气管相连，所述文丘里洗器的进液口与第一洗涤管相连，所述第一洗涤管上设置有第一洗涤泵，所述第一洗涤泵的进液口与第二酸洗池相连，所述水解塔上的第一出气口通过第一气体连接管与淋洗吸收塔上的第二进气口相连，所述淋洗吸收塔上设置有第一喷嘴，所述第一喷嘴与第二洗涤管相连，所述第二洗涤管上设置有第二洗涤泵，所述第二洗涤泵的进液口与第三酸洗池相连，所述淋洗吸收塔上的第二出气口通过第二气体连接管与淋洗洗漱塔上的第三进气口相连，所述淋洗洗漱塔上设置有第二喷嘴，所述第二喷嘴与第一补液管相连，所述淋洗洗漱塔上方设置有第三出气口，所述第三酸洗池的溢流口与第二酸洗池相连，所述第二酸洗池的溢流口与第一酸洗池相连。

优选的，所述第三出气口通过第三气体连接管与液封罐的进气口相连，所述液封罐上的进液口与第二补液管相连，所述液封罐上的出气口与放空管相连，所述液封罐的出液口通过出液管与第三酸洗池相连，所述放空管上设置有检测口和阻火器。

优选的，所述水解塔上还设置有第三喷嘴，所第三喷嘴的进液口与第三洗涤管相连，所述第三洗涤管上还设置有第三洗涤泵，所示第三洗涤泵的进液口与第一酸洗池相连。

优选的，所述水解塔、淋洗吸收塔和淋洗洗漱塔上均设置有压力表。

优选的，所述第一酸洗池、第二酸洗池、第三酸洗池和液封罐上均设置有液位计。

优选的，所述第一洗涤管还与第一循环管线相连，所第一循环管线另一端与淋洗吸收塔上的第四喷嘴相连，所述第一循环管线上设置有第二流量计和第二流量调节阀。

优选的，所述第一补液管上设置有第一流量计和第一流量调节阀。