[实用新型]一种多晶硅生产中尾气处理装置

权利要求书

1.一种多晶硅生产中尾气处理装置，其特征在于：包括水解塔（1）、与水解塔（1）塔釜相连的第一酸洗池（2）、淋洗吸收塔（3）、与淋洗吸收塔（3）塔釜相连的第二酸洗池（4）、淋洗洗漱塔（5）和与淋洗洗漱塔（5）相连的第三酸洗池（6），所述水解塔（1）上方设置有文丘里洗器（7），所述文丘里洗器（7）上的第一进气口（7.1）与尾气进气管（8）相连，所述文丘里洗器（7）的进液口与第一洗涤管（9）相连，所述第一洗涤管（9）上设置有第一洗涤泵（9.1），所述第一洗涤泵（9.1）的进液口与第二酸洗池（4）相连，所述水解塔（1）上的第一出气口（1.4）通过第一气体连接管（1.2）与淋洗吸收塔（3）上的第二进气口（3.1）相连，所述淋洗吸收塔（3）上设置有第一喷嘴（3.2），所述第一喷嘴（3.2）与第二洗涤管（10）相连，所述第二洗涤管（10）上设置有第二洗涤泵（10.1），所述第二洗涤泵（10.1）的进液口与第三酸洗池（6）相连，所述淋洗吸收塔（3）上的第二出气口（3.3）通过第二气体连接管（3.4）与淋洗洗漱塔（5）上的第三进气口（5.1）相连，所述淋洗洗漱塔（5）上设置有第二喷嘴（5.2），所述第二喷嘴（5.2）与第一补液管（11）相连，所述淋洗洗漱塔（5）上方设置有第三出气口（5.3），所述第三酸洗池（6）的溢流口与第二酸洗池（4）相连，所述第二酸洗池（4）的溢流口与第一酸洗池（2）相连。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产中尾气处理装置，其特征在于：所述第三出气口（5.3）通过第三气体连接管（5.5）与液封罐（12）的进气口相连，所述液封罐（12）上的进液口与第二补液管（12.1）相连，所述液封罐（12）上的出气口与放空管（12.2）相连，所述液封罐（12）的出液口通过出液管（12.3）与第三酸洗池（6）相连，所述放空管（12.2）上设置有检测口（12.4）和阻火器（12.5）。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产中尾气处理装置，其特征在于：所述水解塔（1）上还设置有第三喷嘴（1.3），所第三喷嘴（1.3）的进液口与第三洗涤管（13）相连，所述第三洗涤管（13）上还设置有第三洗涤泵（13.1），所示第三洗涤泵（13.1）的进液口与第一酸洗池（2）相连。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产中尾气处理装置，其特征在于：所述水解塔（1）、淋洗吸收塔（3）和淋洗洗漱塔（5）上均设置有压力表（14）。

5.根据权利要求2所述的一种多晶硅生产中尾气处理装置，其特征在于：所述第一酸洗池（2）、第二酸洗池（4）、第三酸洗池（6）和液封罐（12）上均设置有液位计（15）。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产中尾气处理装置，其特征在于：所述第一洗涤管（9）还与第一循环管线（16）相连，所第一循环管线（16）另一端与淋洗吸收塔（3）上的第四喷嘴（3.5）相连，所述第一循环管线（16）上设置有第二流量计（16.1）和第二流量调节阀（16.2）。

7.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产中尾气处理装置，其特征在于：所述第一补液管（11）上设置有第一流量计（11.1）和第一流量调节阀（11.2）。

8.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产中尾气处理装置，其特征在于：所述第二洗涤管（10）还与第二循环管线（17）相连，所述第二循环管线（17）另一端与淋洗洗漱塔（5）上的第五喷嘴（5.4）相连，所述第二循环管线（17）上还设置有第三流量计（17.1）和第三流量调节阀（17.2）。

9.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产中尾气处理装置，其特征在于：所述尾气进气管（8）和液封罐（12）上还设置有氮气进气管（18）。

10.根据权利要求9所述的一种多晶硅生产中尾气处理装置，其特征在于：所述尾气进气管（8）上还设置有第四流量计（8.1）和第四流量调节阀（8.2）。