[实用新型]一种电子枪激活装置

说明书

本实用新型涉及电子枪技术领域，具体为一种电子枪激活装置，包括真空部件、真空度检测部件和若干个电子枪连接件，真空部件、真空度检测部件和电子枪连接件之间均密封连接，真空部件包括离子泵结构和分子泵结构，离子泵结构和分子泵结构密封连接，真空度检测部件包括冷规和真空计，冷规和真空计电性连接，冷规还和离子泵结构密封连接，电子枪连接件包括第一角阀、第二角阀和变径接口，第一角阀的一端和离子泵结构密封连接，第一角阀的另一端和第二角阀的一端密封连接，第二角阀的另一端和变径接口密封连接。可见，该电子枪激活装置，将电子枪的排气过程转移至线下提前进行，大大缩短了电子枪占用设备进行激活的时间，并可实现多个电子枪同时激活。

技术领域

本实用新型涉及电子枪技术领域，具体为一种电子枪激活装置。

背景技术

电子枪作为电子加速器电子产生的源头，在真空安装后，需对其进行加灯丝电流排气、高压老练、闪烁等激活过程才能使用。该过程根据含气量不同可能需要10-15天不等，需耗费大量的时间成本，无法满足快速复产或新建项目出束的要求。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

为了解决以上问题，本实用新型提供的一种电子枪激活装置，能够将电子枪的排气过程转移至线下提前进行，大大缩短了电子枪占用设备进行激活的时间，并可实现多个电子枪同时激活。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案，提供一种电子枪激活装置，包括真空部件、真空度检测部件和若干个电子枪连接件，所述真空部件、所述真空度检测部件和所述电子枪连接件之间均密封连接，所述真空部件包括离子泵结构和分子泵结构，所述离子泵结构和所述分子泵结构密封连接，所述真空度检测部件包括冷规和真空计，所述冷规和所述真空计电性连接，所述冷规还和所述离子泵结构密封连接，所述电子枪连接件包括第一角阀、第二角阀和变径接口，所述第一角阀的一端和所述离子泵结构密封连接，所述第一角阀的另一端和所述第二角阀的一端密封连接，所述第二角阀的另一端和所述变径接口密封连接。

优选地，所述第一角阀和所述第二角阀均为CF35角阀，所述变径接口为CF100-CF35的变径法兰。

优选地，所述电子枪激活装置包括三个电子枪连接件，所述电子枪激活装置还包括六通装配件，所述六通装配件包括六个支管；所述六通装配件的第一支管和所述冷规密封连接，所述六通装配件的第二支管和所述离子泵结构密封连接，所述六通装配件的第三支管和所述分子泵结构密封连接，所述六通装配件的第四支管、第五支管和第六支管分别与一个电子枪连接件密封连接。

优选地，所述六通装配件为5*CF35-CF150的六通变径法兰。

优选地，所述冷规和所述真空计通过BNC连接器连接。

优选地，所述离子泵结构包括离子泵和泵电源，所述离子泵和所述泵电源通过高压线连接。

优选地，所述离子泵为100L离子泵。

优选地，所述分子泵结构包括角阀和分子泵机组，所述角阀和所述分子泵机组通过波纹管密封连接。

优选地，所述电子枪激活装置还包括电子枪，所述电子枪和所述电子枪连接件通过所述变径接口密封连接。

优选地，所述电子枪激活装置还包括三个电子枪，每一个所述电子枪和对应的所述电子枪连接件通过所述变径接口密封连接。

(三)有益效果