[实用新型]一种电子枪激活装置

权利要求书

1.一种电子枪激活装置，其特征在于，包括真空部件、真空度检测部件和若干个电子枪连接件，所述真空部件、所述真空度检测部件和所述电子枪连接件之间均密封连接，所述真空部件包括离子泵结构和分子泵结构，所述离子泵结构和所述分子泵结构密封连接，所述真空度检测部件包括冷规和真空计，所述冷规和所述真空计电性连接，所述冷规还和所述离子泵结构密封连接，所述电子枪连接件包括第一角阀、第二角阀和变径接口，所述第一角阀的一端和所述离子泵结构密封连接，所述第一角阀的另一端和所述第二角阀的一端密封连接，所述第二角阀的另一端和所述变径接口密封连接。

2.根据权利要求1所述的一种电子枪激活装置，其特征在于，所述第一角阀和所述第二角阀均为CF35角阀，所述变径接口为CF100-CF35的变径法兰。

3.根据权利要求1所述的一种电子枪激活装置，其特征在于，所述电子枪激活装置包括三个电子枪连接件，所述电子枪激活装置还包括六通装配件，所述六通装配件包括六个支管；所述六通装配件的第一支管和所述冷规密封连接，所述六通装配件的第二支管和所述离子泵结构密封连接，所述六通装配件的第三支管和所述分子泵结构密封连接，所述六通装配件的第四支管、第五支管和第六支管分别与一个电子枪连接件密封连接。

4.根据权利要求3所述的一种电子枪激活装置，其特征在于，所述六通装配件为5*CF35-CF150的六通变径法兰。

5.根据权利要求1所述的一种电子枪激活装置，其特征在于，所述冷规和所述真空计通过BNC连接器连接。

6.根据权利要求1所述的一种电子枪激活装置，其特征在于，所述离子泵结构包括离子泵和泵电源，所述离子泵和所述泵电源通过高压线连接。

7.根据权利要求6所述的一种电子枪激活装置，其特征在于，所述离子泵为100L离子泵。

8.根据权利要求1所述的一种电子枪激活装置，其特征在于，所述分子泵结构包括角阀和分子泵机组，所述角阀和所述分子泵机组通过波纹管密封连接。

9.根据权利要求1所述的一种电子枪激活装置，其特征在于，所述电子枪激活装置还包括电子枪，所述电子枪和所述电子枪连接件通过所述变径接口密封连接。

10.根据权利要求3所述的一种电子枪激活装置，其特征在于，所述电子枪激活装置还包括三个电子枪，每一个所述电子枪和对应的所述电子枪连接件通过所述变径接口密封连接。