[实用新型]一种磁控溅射设备

权利要求书

1.一种磁控溅射设备，包括磁控舱(1)和安装在磁控舱(1)下方的工作台(6)，其特征在于：所述工作台(6)内部中心设有方向向上的电机(7)，所述电机(7)的轴穿出工作台(6)上部且穿出部分固定有与电机(7)的轴同轴线的圆形转盘(5)，所述磁控舱(1)包括真空腔(109)，所述转盘(5)位于真空腔(109)内，所述转盘(5)上部设有圆柱形基板(3)，所述基板(3)环形侧面铺设有一张基片(4)，所述磁控舱(1)环形侧面均匀分布有四个溅射靶(2)，所述溅射靶(2)包括封板(201)和靶材(203)，所述靶材(203)表面设有用于覆膜的铜板(2032)，所述靶材(203)朝向磁控舱(1)中心并穿出磁控舱(1)内侧环形面，所述铜板(2032)正对基片(4)且与基片(4)有一定距离，所述封板(201)固定在磁控舱(1)外侧环形面，所述磁控舱(1)外侧环形面上还设有围绕靶材(203)一周且用于提供磁场的磁铁(10)、用于连接外部抽真空装置的第一排气口(103)和用于连接外部惰性气体装置和外界空气的两个进气口(104)，所述第一排气口(103)和进气口(104)连通真空腔(109)，所述工作台(6)内部还设有排气装置(8)，所述排气装置(8)包括连通真空腔(109)内部的第二排气口(801)、排气箱(803)、连通第二排气口(801)和排气箱(803)的排气管(802)和连通外部与排气箱(803)的过滤器(804)，所述排气箱(803)通过第二排气口(801)和排气管(802)将真空腔(109)内部的气体抽出，并通过过滤器(804)排放到外部。

2.如权利要求1所述一种磁控溅射设备，其特征在于：所述磁控舱(1)外侧环形面还连接有门框(101)，所述门框(101)外侧设有与门框(101)铰接且能够完全盖合门框(101)的门(108)，其中一个所述溅射靶(2)贯穿门(108)且封板(201)固定在门(108)外侧。

3.如权利要求2所述一种磁控溅射设备，其特征在于：所述门(108)向内延伸设有环形竖筋(1083)，所述封板(201)前面固定有靶材背板(202)，所述靶材背板(202)贯穿门(108)内外表面，所述靶材背板(202)超出门(108)内侧部分的外侧设有绝缘部(1084)，所述绝缘部(1084)位于环形竖筋(1083)与靶材背板(202)之间，所述绝缘部(1084)外侧固定在环形竖筋(1083)上且内侧与靶材背板(202)存在间隙。

4.如权利要求2所述一种磁控溅射设备，其特征在于：还包括销轴(110)，所述门框(101)两侧分别设有把手(1011)和基座(1012)，所述门(108)两侧分别设有与把手(1011)对应的凸台(1082)和与基座(1012)对应的合页(1081)，所述合页(1081)安装在基座(1012)上且通过销轴(110)铰接，所述门(108)旋转贴合在门框(101)上时，所述凸台(1082)位于门框(101)和把手(1011)之间，旋转所述把手(1011)，所述凸台(1082)环形侧面抵接把手(1011)。

5.如权利要求4所述一种磁控溅射设备，其特征在于：所述门(108)内侧平面还设有一圈第一密封圈(1085)，所述第一密封圈(1085)通过胶水黏连在门(108)内侧平面，所述门(108)盖合在门框(101)上，所述第一密封圈(1085)抵接门框(101)。

6.如权利要求1所述一种磁控溅射设备，其特征在于：所述基板(3)还包括压板(301)和螺钉(302)，所述压板(301)抵接基片(4)表面且通过螺钉(302)将基板(3)和基片(4)固定在一起。

7.如权利要求1所述一种磁控溅射设备，其特征在于：所述磁控舱(1)外侧环形面还设有多个连通真空腔的窗口(102)，所述窗口(102)上设有隔离真空腔(109)与外部的透明镜片(1021)，所述窗口(102)位于相邻两个所述溅射靶(2)之间。

8.如权利要求1所述一种磁控溅射设备，其特征在于：所述磁控舱(1)环形侧面还设有等离子清洗装置(105)。