[实用新型]一种具备高灵敏度系数的新型原子层热电堆热流传感器

权利要求书

1.一种具备高灵敏度系数的新型原子层热电堆热流传感器，其特征在于，包括：

基座，其表面设置有电绝缘氧化层，基座侧面开设有导线槽，基座上端面开设有与所述导线槽连通的引线孔Ⅱ；

敏感元件，其粘接固定在所述基座的上端面；封装套，其套设在所述基座外部；银导线，其固定设置在所述导线槽内；

所述敏感元件的结构包括：

圆形倾斜取向的钛酸锶晶片，其上开设有与引线孔Ⅱ重合对准的引线孔Ⅰ，且钛酸锶晶片表面沉积有至少两个钇钡铜氧化物薄膜，通过晶胞特征参数匹配实现钇钡铜氧化物薄膜在倾斜取向的钛酸锶晶片上取向生长；所述钇钡铜氧化物薄膜之间通过导电金膜首尾串联连接；

两个引线金膜，其一端与所述钇钡铜氧化物薄膜相接，另一端覆盖所述引线孔Ⅰ周围区域；所述银导线穿过引线孔Ⅱ和引线孔Ⅰ，并与所述引线金膜电导通。

2.如权利要求1所述的具备高灵敏度系数的新型原子层热电堆热流传感器，其特征在于，所述银导线端面与敏感元件外表面平齐。

3.如权利要求1所述的具备高灵敏度系数的新型原子层热电堆热流传感器，其特征在于，所述基座优选为铝合金基座。

4.如权利要求1所述的具备高灵敏度系数的新型原子层热电堆热流传感器，其特征在于，所述封装套优选为聚醚醚酮封装套、氮化硅陶瓷封装套、氧化铝陶瓷封装套或氮化硅陶瓷封装套中的一种。

5.如权利要求1所述的具备高灵敏度系数的新型原子层热电堆热流传感器，其特征在于，所述银导线通过胶水粘接固定在导线槽内；所述银导线与引线金膜之间通过导电银浆实现电导通。