[实用新型]一种晶圆切割CCD光学自动定位装置

说明书

本实用新型公开了一种晶圆切割CCD光学自动定位装置，包括切割架体、电机、电动升降杆、风扇、电动气压缸和单片机，所述切割架体顶端的两端皆安装有安装架，且安装架的顶端安装有固定座，所述安装架的顶端安装有电机，且电机的输出端通过联轴器安装有贯穿固定座内部的丝杆，所述丝杆的外壁设置有套筒，所述安装架一端侧壁的顶端安装有贯穿套筒内部的连接杆，所述套筒的底端安装有电动升降杆，且电动升降杆的底端安装有安装框，所述安装框的底端安装有风管，且风管内部的底端安装有风扇。该晶圆切割CCD光学自动定位装置，通过螺纹杆在旋转的同时在螺纹孔内部进行往复升降移动，便于使螺纹杆带动挤压板来对晶圆主体进行夹紧固定。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆切割CCD光学自动定位装置。

背景技术

随着社会的发展，科学的进步，在对电路元件制作时晶圆是必不可少的一种元件，晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，晶圆在加工过程中需要通过CCD切割机进行加工，传统的晶圆切割CCD 光学自动定位装置基本可以满足人们的使用需求，但是依旧存在一定的问题，具体问题如下所述：

1、目前市场上大多数晶圆切割CCD光学自动定位装置，无法自动对晶圆的位置进行定位，同时在对晶圆进行加工过程中，容易产生大量碎屑和粉尘飞入操作人员的口鼻，从而影响身体的健康；

2、目前市场上大多数晶圆切割CCD光学自动定位装置，不便于操作人员对晶圆进行夹紧固定，同时无法对不同规格的晶圆进行夹紧固定，使该装置的实用性能降低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆切割CCD光学自动定位装置，以解决上述背景技术中提出的无法自动对晶圆的位置进行定位、容易产生大量碎屑和粉尘飞入操作人员的口鼻，从而影响身体的健康与无法对不同规格的晶圆进行夹紧固定的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆切割CCD光学自动定位装置，包括切割架体、电机、电动升降杆、风扇、电动气压缸和单片机，所述切割架体顶端的两端皆安装有安装架，且安装架的顶端安装有固定座，所述安装架的顶端安装有电机，且电机的输出端通过联轴器安装有贯穿固定座内部的丝杆，所述丝杆的外壁设置有套筒，所述安装架一端侧壁的顶端安装有贯穿套筒内部的连接杆，所述套筒的底端安装有电动升降杆，且电动升降杆的底端安装有安装框，所述安装框的底端安装有风管，且风管内部的底端安装有风扇，所述安装框的底端安装有切割头，所述切割架体顶端的中间位置处安装有固定板，且固定板的顶端安装有晶圆主体，所述切割架体顶端的两端皆安装有支撑杆。

优选的，所述安装框内部的顶端皆安装有滑轨，且滑轨的内部设置有滑块，所述滑块的底端安装有收纳箱。

优选的，所述收纳箱底端的侧壁安装有铰接座，且铰接座的内部铰接有密封板。

优选的，所述支撑杆的顶端安装有电动气压缸，且电动气压缸的一端安装有安装板，所述安装板的内部开设有螺纹孔。

优选的，所述螺纹孔的内部设置有螺纹杆，且螺纹杆的底端安装有挤压板。

优选的，所述安装架一侧的侧壁安装有控制面板，且安装架内部的顶端安装有单片机，所述控制面板的输出端通过导线与单片机的输入端电连接，且单片机的输出端通过导线与切割头的输入端电连接，所述单片机的输出端通过导线与电机的输入端电连接，且单片机的输出端通过导线与电动升降杆的输入端电连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过安装有控制面板、单片机、切割头、电机、丝杆、套筒和电动升降杆，通过操作人员启动控制面板，使控制面板将信息传输给单片机，并且通过单片机启动电机来带动丝杆旋转，且通过丝杆与套筒螺纹连接，使丝杆在旋转的同时套筒进行往复移动，同时单片机还可以自动控制电动升降杆来带动切割头进行升降，从而便于使该装置可以自动进行定位；