[实用新型]一种气相外延炉用过滤机构

说明书

本实用新型公开了一种气相外延炉用过滤机构，包括进风管道本体，所述进风管道本体内腔的顶部设置有过滤机构，所述过滤机构包括开设在进风管道本体内壁顶部的环形凹槽。本实用新型通过过滤机构的设置，对空气中的灰尘及杂质进行过滤，随后通过限位机构的设置，对框架进行移动，对过滤网本体进行更换，即可达到便于更换和清理滤网的目的，该气相外延炉用过滤机构，解决了现有的气相外延炉在使用过程中，进气口位置多通过螺纹紧固的安装方式对过滤层进行安装，此种安装方式需要频繁转动螺栓对滤网进行拆装，且由于炉内的吸附力，过滤网的表面较容易堆积灰尘杂质，使用者的清理周期较短，不利于使用者使用的问题。

技术领域

本实用新型涉及气相外延炉技术领域，具体为一种气相外延炉用过滤机构。

背景技术

气相外延炉在使用过程中，为保证炉内晶体能够进行稳定外延过程，需要对气相外延炉的进气口位置进行过滤，将外接空气中的杂质滤处，保证炉内的稳定外延过程。

现有的气相外延炉在使用过程中，进气口位置多通过螺纹紧固的安装方式对过滤层进行安装，此种安装方式需要频繁转动螺栓对滤网进行拆装，且由于炉内的吸附力，过滤网的表面较容易堆积灰尘杂质，使用者的清理周期较短，不利于使用者使用，基于此，本实用新型提供了一种气相外延炉用过滤机构，用以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种气相外延炉用过滤机构，具备便于更换和清理滤网的优点，解决了现有的气相外延炉在使用过程中，进气口位置多通过螺纹紧固的安装方式对过滤层进行安装，此种安装方式需要频繁转动螺栓对滤网进行拆装，且由于炉内的吸附力，过滤网的表面较容易堆积灰尘杂质，使用者的清理周期较短，不利于使用者使用的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种气相外延炉用过滤机构，包括进风管道本体，所述进风管道本体内腔的顶部设置有过滤机构，所述过滤机构包括开设在进风管道本体内壁顶部的环形凹槽，所述环形凹槽内腔的底部放置有过滤网本体，所述过滤网本体的顶部设置有压圈，所述压圈的左侧固定连接有矩形限位块，所述环形凹槽内腔的左侧开设有与矩形限位块相适配的矩形通孔，所述压圈的右侧固定连接有弹性卡条，所述环形凹槽内腔的右侧开设有与弹性卡条相适配的限位卡槽，所述进风管道本体后侧的顶部通过转动件转动连接有框架，所述框架的内腔设置有进风机构，所述进风管道本体前侧的顶部设置有限位机构，所述限位机构包括固定连接在进风管道本体前侧顶部的U形固定架，所述U形固定架的内腔滑动连接有U形限位块，所述框架的前侧固定连接有与U形限位块相适配的限位卡勾，所述U形限位块的前侧固定连接有拉动柱，所述拉动柱的前端贯穿至U形固定架的前侧，所述拉动柱的表面套设有拉簧，所述拉簧的前端和后端分别与拉动柱和U形固定架相焊接。

优选的，所述进风机构包括固定连接在框架内腔的十字固定板，所述十字固定板的顶部固定连接有电机，所述电机的输出轴贯穿至十字固定板的底部并固定连接有扇叶。

优选的，所述压圈的底部粘合有橡胶圈。

优选的，所述U形限位块两侧的后端均固定连接有限位滑块，所述U形固定架的两侧均开设有供限位滑块滑动的限位滑槽。

优选的，所述进风管道本体表面的底部固定连接有安装件，所述安装件的顶部环形开设有六个螺纹通孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过过滤机构的设置，对空气中的灰尘及杂质进行过滤，同时通过进风机构的设置，对进风管道本体的内腔辅助进风，最终通过限位机构的设置，对框架进行移动，对过滤网本体进行更换，即可达到便于更换和清理滤网的目的，该气相外延炉用过滤机构，解决了现有的气相外延炉在使用过程中，进气口位置多通过螺纹紧固的安装方式对过滤层进行安装，此种安装方式需要频繁转动螺栓对滤网进行拆装，且由于炉内的吸附力，过滤网的表面较容易堆积灰尘杂质，使用者的清理周期较短，不利于使用者使用的问题。