[实用新型]一种气相外延炉用过滤机构有效

专利信息
申请号: 202021128049.2 申请日: 2020-06-18
公开(公告)号: CN212440483U 公开(公告)日: 2021-02-02
发明(设计)人: 王作义;马洪文;魏关成;高万智;杨虎;陈小铎 申请(专利权)人: 上海广奕电子科技股份有限公司
主分类号: B01D46/10 分类号: B01D46/10;B01D46/00
代理公司: 北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557 代理人: 陈佳
地址: 201203 上海市浦东新区中国(上海)*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 外延 过滤 机构
【权利要求书】:

1.一种气相外延炉用过滤机构,包括进风管道本体(1),其特征在于:所述进风管道本体(1)内腔的顶部设置有过滤机构(2),所述过滤机构(2)包括开设在进风管道本体(1)内壁顶部的环形凹槽(21),所述环形凹槽(21)内腔的底部放置有过滤网本体(22),所述过滤网本体(22)的顶部设置有压圈(23),所述压圈(23)的左侧固定连接有矩形限位块(24),所述环形凹槽(21)内腔的左侧开设有与矩形限位块(24)相适配的矩形通孔(25),所述压圈(23)的右侧固定连接有弹性卡条(26),所述环形凹槽(21)内腔的右侧开设有与弹性卡条(26)相适配的限位卡槽(27),所述进风管道本体(1)后侧的顶部通过转动件转动连接有框架(3),所述框架(3)的内腔设置有进风机构(4),所述进风管道本体(1)前侧的顶部设置有限位机构(5),所述限位机构(5)包括固定连接在进风管道本体(1)前侧顶部的U形固定架(51),所述U形固定架(51)的内腔滑动连接有U形限位块(52),所述框架(3)的前侧固定连接有与U形限位块(52)相适配的限位卡勾(53),所述U形限位块(52)的前侧固定连接有拉动柱(54),所述拉动柱(54)的前端贯穿至U形固定架(51)的前侧,所述拉动柱(54)的表面套设有拉簧(55),所述拉簧(55)的前端和后端分别与拉动柱(54)和U形固定架(51)相焊接。

2.根据权利要求1所述的一种气相外延炉用过滤机构,其特征在于:所述进风机构(4)包括固定连接在框架(3)内腔的十字固定板(41),所述十字固定板(41)的顶部固定连接有电机(42),所述电机(42)的输出轴贯穿至十字固定板(41)的底部并固定连接有扇叶(43)。

3.根据权利要求1所述的一种气相外延炉用过滤机构,其特征在于:所述压圈(23)的底部粘合有橡胶圈(6)。

4.根据权利要求1所述的一种气相外延炉用过滤机构,其特征在于:所述U形限位块(52)两侧的后端均固定连接有限位滑块(7),所述U形固定架(51)的两侧均开设有供限位滑块(7)滑动的限位滑槽(8)。

5.根据权利要求1所述的一种气相外延炉用过滤机构,其特征在于:所述进风管道本体(1)表面的底部固定连接有安装件(9),所述安装件(9)的顶部环形开设有六个螺纹通孔。

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