[实用新型]一种大功率快速晶闸管有效
申请号: | 202021105195.3 | 申请日: | 2020-06-15 |
公开(公告)号: | CN212209499U | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 刘秋林;徐日旺 | 申请(专利权)人: | 江苏晶中电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/74 | 分类号: | H01L29/74;H01L29/06 |
代理公司: | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人: | 曹慧萍 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 大功率 快速 晶闸管 | ||
本实用新型公开了一种大功率快速晶闸管,其结构设计简单合理,可提高芯片表面电流扩展速度,可靠性高,其包括壳体、封装于壳体内的晶闸管芯片,晶闸管芯片为圆形PNPN结构,包括依次布置的阳极掺杂区P1层、长基区N1层、门极短基区P2层及间隔布置的阴极发射区N2层,由P1层、N2层分别引出钼片阳极A、阴极K,PNPN结构终端涂覆有保护胶层,N2层表面设有金属镀层,金属镀层还包括由内向外依次分布的门极G、放大门极、阴极K,放大门极以门极G为中心呈发散状引出至靠近阴极K的位置,放大门极包括若干直线状的第一放大门极、“Y”形第二放大门极,第一放大门极、第二放大门极交错间隔布置。
技术领域
本实用新型属于功率半导体器件技术领域,特别是一种适用于感应加热器等高功率、高电流扩展速度要求的晶闸管结构。
背景技术
晶闸管也称晶体闸流管、可控硅整流元件,是一种由三个PN结构成的半导体开关,目前,大功率晶闸管常用的外形机构有螺栓式、平板式,其内部包括PNP三层半导体结构,由最外的P层和N层引出两个电极,分别为阳极A、阴极K,由中间的P层引出的电极为门极G,阳极A与外层P层之间烧结阳极钼片,芯片台面涂覆有保护胶层。晶闸管作为一种电力电子器件,当其额定电流大于200A时一般采用平板式结构,但目前市面上常用的晶闸管芯片存在正常工作峰值电流不够大、di/dt不够高等问题,单颗芯片只可满足小功率设备使用,当设备额定功率较大时,为提高di/dt,则需要将多个小功率晶闸管芯片并联,但这种方式不仅需要多根连接线连接,使整个电路结构复杂,而且各颗芯片之间存在误差且易受外部线路干扰,存在运行不稳定、可靠性低的问题。
实用新型内容
针对现有技术中存在的工作峰值电流不够大、di/dt不够高,而为满足高功率要求并联多个小功率晶闸管的方式,线路结构复杂、可靠性低的问题,本实用新型提供了一种大功率快速晶闸管,其结构设计简单合理,可提高芯片表面电流扩展速度,可靠性高。
为实现上述目的,本实用新型的技术方案是:
一种大功率快速晶闸管,其包括壳体、封装于所述壳体内的晶闸管芯片,所述晶闸管芯片为圆形PNPN结构,包括依次布置的阳极掺杂区P1层、长基区N1层、门极短基区P2层及间隔布置的阴极发射区N2层,由所述P1层、N2层分别引出钼片阳极A、阴极K,所述PNPN结构终端涂覆有保护胶层,所述晶闸管芯片表面设有金属镀层,其特征在于,所述金属镀层还包括由内向外依次分布的门极(G)、放大门极、所述阴极K,所述门极(G)由所述P2层引出,所述放大门极用于所述N2层与所述P2层连接,所述阴极K由所述N2层引出;所述放大门极以所述门极G为中心呈发散状引出,并靠近所述阴极K,所述放大门极包括若干直线状的第一放大门极、“Y”形第二放大门极,所述第一放大门极、第二放大门极交错间隔布置。
其进一步特征在于:
优选的,所述第一放大门极、第二放大门极分别包括至少两个,且均以所述门极G为中心对称布置;
优选的,所述PNPN结构的材质包括单晶硅,所述PNPN结构的电阻率为115Ω·cm~135Ω·cm,厚度为560μm~580μm,直径为89mm;
优选的,所述阴极K的材质为高纯铝;
优选的,所述P1层、P2层均为铝镓掺杂区,所述铝镓掺杂区的结深为90μm~95μm,表面浓度表现为方块电阻测量值范围为16Ω/Sq~18Ω/Sq;
优选的,所述N2层分布有短路点,所述短路点的材质与所述P2层材质相同;
所述N1层、N2层均为磷掺杂区,所述磷扩散后的结深为27μm~33μm,表面浓度表现为方块电阻测量值小于等于0.15Ω/Sq。
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