[实用新型]一种宽幅薄膜高真空卷绕镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种宽幅薄膜高真空卷绕镀膜机，包括工作箱、设于所述工作箱侧壁上的放卷装置、设于所述工作箱侧壁上的收卷装置、冷却装置、展平装置、用于驱动靶材移动的移动装置、用于固定靶材的第一夹持装置、用于固定靶材的第二夹持装置及用于辅助靶材扩散的转动装置；所述第一夹持装置与所述第二夹持装置结构相同；本实用新型通过收卷装置的设置，便于收卷辊与放卷滚的拆卸安装，为工作人员节约体力和时间；设置了冷却装置，有效增加了镀层的厚度，大大提高了生产效率，降低了生产成本。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种宽幅薄膜高真空卷绕镀膜机。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。随着光电技术的不断发展，对宽幅薄膜的生产效率和质量的要求也逐渐提高。传统宽幅薄膜为单一涂层，无法满足社会的发展需求，且很多薄膜需要对其进行再处理以增强薄膜的性能，目前现有的卷绕式镀膜机更换放卷轴和收卷轴时费时费力，且降低生产效率。

实用新型内容

本实用新型为了克服现有技术的不足，提供一种使用方便、镀膜效果好的宽幅薄膜高真空卷绕镀膜机。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种宽幅薄膜高真空卷绕镀膜机，包括工作箱、设于所述工作箱侧壁上的放卷装置、设于所述工作箱侧壁上的收卷装置、冷却装置、展平装置、用于驱动靶材移动的移动装置、用于固定靶材的第一夹持装置、用于固定靶材的第二夹持装置及用于辅助靶材扩散的转动装置；所述收卷装置包括设于所述设于所述工作箱侧壁上的第一推杆、设于所述工作箱另一侧壁上的第二推杆、设于所述第一推杆上的第一转动轴、设于所述第一转动轴上的第一驱动件、设于所述工作箱侧壁上的第一托架、用于连接所述第一推杆与所述第二推杆的轴芯、套设于所述轴芯上的轴套、设于所述轴套内壁上的多个第一弹性件、设于所述轴套一端上的锁定槽、设于所述第一弹性件上的第一移动块、设于所述轴芯上的弧形槽、设于所述轴芯上的多个卡槽、设于所述轴芯上的限位槽、可相对所述限位槽滑动的锁定块及设于所述第一滑块上的拨杆；设置收卷装置，可将基片一端嵌入弧形槽内，转动所述轴套一定角度所述第一移动块受到第一弹性件弹力推挤进入所述卡槽内，将基片固定，便于后期基片卷绕至收卷轴上；推动所述拨杆，使得锁定块在限位槽内滑动，卡进轴套上的锁定槽内，使得所述轴套固定；所述第一托架上设置有多个滚珠，可减小托架与轴芯之间的摩擦力，且便于拆卸安装，为工作人员节约体力和时间。

优选的，所述移动装置包括设于所述工作箱底部上的第一滑轨、设于所述工作箱底部上的第二滑轨、可相对所述第一滑轨滑动的第一齿条、可相对所述第二滑轨滑动的第二齿条、设于所述工作箱底部上的第一固定轴、设于所述第一固定轴上的第一齿轮、与所述第二齿条相啮合的不规则齿条、设于所述工作箱底部上的第二固定轴、用于驱动所述不规则齿条摆动的偏心轴、设于所述偏心轴一端上的圆盘、穿设于所述圆盘上的第一转轴及用于驱动所述第一转轴转动的第二驱动件；所述第二驱动件驱动所述第一转轴转动，带动所述圆盘上的偏心轴转动；所述不规则齿条一端上设置有一卡槽，可供偏心轴在卡槽内运动；所述偏心轴转动，带动所述不规则齿条以所述第一固定轴为支点做一定角度的摆动运动，带动所述第二齿条在第二滑轨上来回滑动，第二齿条来回直线运动，与第一齿轮相啮合，带动第一齿条在第一滑轨上做往复直线运动，实现靶材的错位直线往复运动。